光刻机根本上是土鳖政府傻逼作死， 当初尼康日立都在里面做

结果中国他妈的靠美国，，

把留学的钱买了尼康等日本设备， 不但人才很多都是中国人做，
根本不会被西方卡脖子。

日本一看， 他妈的你急着装孙子投降
看看谁来得更快更自然。。

中国拱手让出市场， 抱美国大腿， 他妈的还瞧不起日本人。。
二十年前我就认为中国应该支持日本半导体设备公司。。

结果都死了。。

euv的确太难了，， 主要投资大， 土鳖国我觉得真心很难，， 除非低三下四私下求日本。。。
如果日本不帮助， 习大大投资几万亿都没戏。。

我给中国设计的光刻机研究策略，

1. 要紧抱日本大腿， 把市场给日本企业， 让日本人进来。
2. 两弹一星精神搞， 要在不发达地区搞， 这样投资少留得住人。 工资在当地高很多倍也容易， 解决人家家庭生活， 和孩子上学高考问题。 准备二十年。
3. 先从简单设备上搞， 能替换啥算啥， 别一上来就EUV。 进口的机器要收高额税保
护研发产品。
4. 培养人才从大学最后一年开始， 研究光刻机， 做光刻机等于读学位。 不要等，
从娃娃起来。
5. 从精密机械， 制造， 测量， 减震等做起。。 光学周期可能最长， 要有耐心。

这些都要做到才有希望。

你屁都不懂，很鸡巴搞笑

当年党妈搞老一代光刻机的核心问题是准分子激光器搞不出来，
准分子激光器怎么来的人家根本就不说，你到哪里去学？
看看满大街的美容店除毛除斑用的准分子激光器哪里来的就知道了
2008年的时候面瘫用进口准分子激光器搞定光刻机
结果羊大爷知道了立马禁运准分子激光器，面瘫的光刻机立马就完蛋了，
拖到今天都没彻底搞定，前几天说要鉴定了，
结果还是准分子激光器功率不足完蛋了

你以为科学的玩意都很容易？
多做实验就能出来？
你看看印度的氢弹就知道了，
原理搞不定屁用没有，
实验再多也是失败的结局

你说说看DUV和EUV提高功率的难点在哪里

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你屁都不懂，很鸡巴搞笑
: 当年党妈搞老一代光刻机的核心问题是准分子激光器搞不出来，
: 准分子激光器怎么来的人家根本就不说，你到哪里去学？
: 看看满大街的美容店除毛除斑用的准分子激光器哪里来的就知道了
: 2008年的时候面瘫用进口准分子激光器搞定光刻机
: 结果羊大爷知道了立马禁运准分子激光器，面瘫的光刻机立马就完蛋了，
: 拖到今天都没彻底搞定，前几天说要鉴定了，
: 结果还是准分子激光器功率不足完蛋了
: 你以为科学的玩意都很容易？
: 多做实验就能出来？
: ...................

那么满街除毛的激光器哪里来的？

[在 furoci (伊千枝) 的大作中提到：]
:你屁都不懂，很鸡巴搞笑
:当年党妈搞老一代光刻机的核心问题是准分子激光器搞不出来，
:准分子激光器怎么来的人家根本就不说，你到哪里去学？
:看看满大街的美容店除毛除斑用的准分子激光器哪里来的就知道了
:结果羊大爷知道了立马禁运准分子激光器，面瘫的光刻机立马就完蛋了，
:拖到今天都没彻底搞定，前几天说要鉴定了，
:结果还是准分子激光器功率不足完蛋了
:你以为科学的玩意都很容易？
:多做实验就能出来？
:你看看印度的氢弹就知道了，
:..........

连激光器都扯，
可见你是个傻逼。。 激光器应该是最容易解决的。。
你看看美帝欧洲多少华人在搞激光器，

光刻机最难的是镜头， 没得说， 其他就是力学材料很sensors了。。 着这些都得靠日本帮忙。 白皮会天生防着黄皮。。。

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你屁都不懂，很鸡巴搞笑
: 当年党妈搞老一代光刻机的核心问题是准分子激光器搞不出来，
: 准分子激光器怎么来的人家根本就不说，你到哪里去学？
: 看看满大街的美容店除毛除斑用的准分子激光器哪里来的就知道了
: 2008年的时候面瘫用进口准分子激光器搞定光刻机
: 结果羊大爷知道了立马禁运准分子激光器，面瘫的光刻机立马就完蛋了，
: 拖到今天都没彻底搞定，前几天说要鉴定了，
: 结果还是准分子激光器功率不足完蛋了
: 你以为科学的玩意都很容易？
: 多做实验就能出来？
: ...................

MB，把贪官奸商杀一批，把收缴的脏款拿去补贴科研人员，十年完全搞得出来！全是
TMD的贪官祸害了，还跟柳传志这种奸商勾结，掏空了国家，苦了干活的人。

激光没有功率上限，只要实现粒子数反转就能产生受激辐射，粒子数越多，功率越高。工程无非是怎么把粒子pump到亚稳态，减少粒子碰撞退激发而已。土鳖如果搞不定这个，显然AMO人才不足。

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 你说说看DUV和EUV提高功率的难点在哪里

值得考虑。还要积极思考正反馈机制。

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 我给中国设计的光刻机研究策略，
: 1. 要紧抱日本大腿， 把市场给日本企业， 让日本人进来。
: 2. 两弹一星精神搞， 要在不发达地区搞， 这样投资少留得住人。 工资在当地高很多
: 倍也容易， 解决人家家庭生活， 和孩子上学高考问题。 准备二十年。
: 3. 先从简单设备上搞， 能替换啥算啥， 别一上来就EUV。 进口的机器要收高额税保
: 护研发产品。
: 4. 培养人才从大学最后一年开始， 研究光刻机， 做光刻机等于读学位。 不要等，
: 从娃娃起来。
: 5. 从精密机械， 制造， 测量， 减震等做起。。 光学周期可能最长， 要有耐心。
: 这些都要做到才有希望。

顶！

凡光刻机贴，皆为谢老师和弃老师巅峰对决，华山论剑，决战紫禁之巅。

问的就是现在国产光刻机光源为啥卡了这么多年为啥功率上不去呀 肯定是工程上哪儿卡住了。

【 在 VladPutin (Trump's 02Master) 的大作中提到: 】
: 激光没有功率上限，只要实现粒子数反转就能产生受激辐射，粒子数越多，功率越高。
: 工程无非是怎么把粒子pump到亚稳态，减少粒子碰撞退激发而已。土鳖如果搞不定这个
: ，显然AMO人才不足。

现在上海半导体装备的DUV就卡在ArF光源上没法在今年通过鉴定
这么容易你去说说怎么办阿
傻逼

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 连激光器都扯，
: 可见你是个傻逼。。 激光器应该是最容易解决的。。
: 你看看美帝欧洲多少华人在搞激光器，
: 光刻机最难的是镜头， 没得说， 其他就是力学材料很sensors了。。 着这些都得靠日
: 本帮忙。 白皮会天生防着黄皮。。。

尼玛这两个每次见面都是吃了枪药一样

【 在 dIdT (星垂平野阔) 的大作中提到: 】
: 顶！
: 凡光刻机贴，皆为谢老师和弃老师巅峰对决，华山论剑，决战紫禁之巅。

这跟印度人的氢弹是一回事情

人家死活不公布关键细节，你用公开版本的原理做了就是不行

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 问的就是现在国产光刻机光源为啥卡了这么多年为啥功率上不去呀 肯定是工程上哪儿
: 卡住了。

土鳖这些年基本是靠抄作业混，工程师里吃香喝辣的都是抄作业的，自己做题的已经被全体淘汰。感谢邓shopping。

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 问的就是现在国产光刻机光源为啥卡了这么多年为啥功率上不去呀 肯定是工程上哪儿
: 卡住了。

其实日本人也不行，日本人当年就是因为功率上不去退出竞争的

所以日本人也不知道里面的窍门，你不能信发表在app phys lett上的，里面肯定隐藏
了关键细节

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 问的就是现在国产光刻机光源为啥卡了这么多年为啥功率上不去呀 肯定是工程上哪儿
: 卡住了。

那你从原理上大概能推测出来工程实现难点在哪里吧？ 如果原理能吃透

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 这跟印度人的氢弹是一回事情
: 人家死活不公布关键细节，你用公开版本的原理做了就是不行

打个比方，用公开版的原理理论效率是30%，所以最大输出功率是50w，只能美容院除毛，做不了光刻机

怎么做到效率90%？没人公开，你屁都不知道

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 那你从原理上大概能推测出来工程实现难点在哪里吧？ 如果原理能吃透

日本是走错路了 或者说产品线慢了一步 功率不是主要原因

当年的F2 157nm vs ArFi 的世纪之战 但凡157能早半年出来 也不至于被阿斯猫按在地上摩擦

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 其实日本人也不行，日本人当年就是因为功率上不去退出竞争的
: 所以日本人也不知道里面的窍门，你不能信发表在app phys lett上的，里面肯定隐藏
: 了关键细节

写paper千老都是把效率往高里吹啦 你看到哪个千老能做到90%藏着不发的 早就满世界吹牛逼到出卖啦

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 打个比方，用公开版的原理理论效率是30%，所以最大输出功率是50w，只能美容院除毛
: ，做不了光刻机
: 怎么做到效率90%？没人公开，你屁都不知道

谢耗子跟cymer里的扫地劳模一个水平。
让他回去造光刻机投多少钱都得被他贪了。

同意号子

实际上中国精密仪器这块是最大短板

看不出20年内能追得上

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 我给中国设计的光刻机研究策略，
: 1. 要紧抱日本大腿， 把市场给日本企业， 让日本人进来。
: 2. 两弹一星精神搞， 要在不发达地区搞， 这样投资少留得住人。 工资在当地高很多
: 倍也容易， 解决人家家庭生活， 和孩子上学高考问题。 准备二十年。
: 3. 先从简单设备上搞， 能替换啥算啥， 别一上来就EUV。 进口的机器要收高额税保
: 护研发产品。
: 4. 培养人才从大学最后一年开始， 研究光刻机， 做光刻机等于读学位。 不要等，
: 从娃娃起来。
: 5. 从精密机械， 制造， 测量， 减震等做起。。 光学周期可能最长， 要有耐心。
: 这些都要做到才有希望。

157nm先天缺陷， 基本光学材料就不行了， 玻璃190以下就玩球了。

至于功率根本不是个事， 就是投入的问题。 说功率出问题， 世界上都一样， 搭起来优化， 这才是屁大点事情。 你一台不行可以多几个啊。

主要在于缺乏平台， 就是全靠西方， 而不是东方自己搞研发。。

很多人不懂多难， 比如一个普通的lens， 手机的实际成本几分钱，
大点的一英寸， 美国也就80美元新的好的
你要自己造普通精度的大概上万美元。
你要一个极其精密的大概得5万美元以上。
这只是一个玻璃lens，
而mirror那么大， 好几顿重， 这个加钱可不是那么好估量的。。 估计一个上千万不
奇怪，， 没有买过。。

而美国积累了30年， 人家随便弄弄就凑合了， 你造不出来只能偷，， 怎么可能研究
出光刻机。有些傻逼只懂得激光。。 随便一个控制位置的sensor就是很多年工业积累
的结果， 里面的电路，刻度， 都是各种温度环境优化。。

激光器真心不算啥。 是核心。 但是有了还是屁用没有， 还他妈的贼贵， 维护
如果激光器的问题， 三年就肯定解决了。

平台的问题， 你得至少十年了。。 除非打了台湾， 直接仿制。

你这么说只要把蔡司抢过来镜头问题就解决了？

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 很多人不懂多难， 比如一个普通的lens， 手机的实际成本几分钱，
: 大点的一英寸， 美国也就80美元新的好的
: 你要自己造普通精度的大概上万美元。
: 你要一个极其精密的大概得5万美元以上。
: 这只是一个玻璃lens，
: 而mirror那么大， 好几顿重， 这个加钱可不是那么好估量的。。 估计一个上千万不
: 奇怪，， 没有买过。。
: 而美国积累了30年， 人家随便弄弄就凑合了， 你造不出来只能偷，， 怎么可能研究
: 出光刻机。有些傻逼只懂得激光。。 随便一个控制位置的sensor就是很多年工业积累
: 的结果， 里面的电路，刻度， 都是各种温度环境优化。。
: ...................

157nm可以用反射镜 不用透镜就可以了。还是时间慢了一步 都搞定的时候，发现ArFi
已经进厂了。 整个供气系统 供水系统 平台 都已经被阿斯猫给占领了 兵败如山倒

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 157nm先天缺陷， 基本光学材料就不行了， 玻璃190以下就玩球了。
: 至于功率根本不是个事， 就是投入的问题。 说功率出问题， 世界上都一样， 搭起来
: 优化， 这才是屁大点事情。 你一台不行可以多几个啊。
: 主要在于缺乏平台， 就是全靠西方， 而不是东方自己搞研发。。

没用 透镜要抢透镜组 里面每个透镜怎么装 都有技巧 装好之后怎么调节各项
zernike参数都是技术。单抢镜片屁用没有

【 在 OneFlyingPig (time) 的大作中提到: 】
: 你这么说只要把蔡司抢过来镜头问题就解决了？

现在上海半导体装备一切全齐备了，就差120w的arf光源了

arf理论功率就60w，人家做出理论功率2倍，什么窍门，你根本不知道，调试是调试不
出来的，因为arf理论功率60w，党妈就卡死在60w的arf上了

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 没用 透镜要抢透镜组 里面每个透镜怎么装 都有技巧 装好之后怎么调节各项
: zernike参数都是技术。单抢镜片屁用没有

真正重要的是人和有效的研发组合机制，但是大佬们不喜欢这么做。

别人一个项目几千人几百个博士，你丫几个博士领头，几百个人就想几年内完成别人几十年全世界精英的工作？

把耗子这样的弄回去，别的不说，加快1周进展还是可能的。那么20年差距缩短为5年就是15x52=780周。每个人安家费1000万人刀，加上5年工资500万，就是780x1500万=117
亿人刀。关键的是这么一个项目就需要这么多，这个行业卡脖子的多了去了，投入几万亿人刀搞研发是必须的。这么多钱大佬们分不香吗？

研发组合机制就更难了。人越多越乱。现在懂行的不敢多说，不懂的尤其是论文生产能手瞎指挥，失败是必然的。

我的直觉里面透镜的各项zernike compensation是工程上很难的东西， 太繁琐了 工程难度不比ArF激光器难度小 不知道我憋到底做的怎么样 没找到具体参量报告

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 现在上海半导体装备一切全齐备了，就差120w的arf光源了
: arf理论功率就60w，人家做出理论功率2倍，什么窍门，你根本不知道，调试是调试不
: 出来的，因为arf理论功率60w，党妈就卡死在60w的arf上了

你咋这么没有任何工程经验。。
60跟120差距也就一年。

euv刚开始也就1w出光而已。 现在已经250w了。。

而且曝光慢一倍就行了， 你说的根本不是个事。 说你屁也不懂真是高抬你了

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 现在上海半导体装备一切全齐备了，就差120w的arf光源了
: arf理论功率就60w，人家做出理论功率2倍，什么窍门，你根本不知道，调试是调试不
: 出来的，因为arf理论功率60w，党妈就卡死在60w的arf上了

耗子的问题是大学读了个很容易的球系
到了美国转了个很容易的光学

耗子从来没见识过hardcore的science
认为一切的困难就是做实验调个参数
只要钱给足，调2年参数不行就调3年，肯定能成功

耗子从来没想过有些事情，是理论是不行的，调多少年也没用

老的例子比如著名的永动机

新的例子比如印度人的氢弹

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 你咋这么没有任何工程经验。。
: 60跟120差距也就一年。
: euv刚开始也就1w出光而已。 现在已经250w了。。
: 而且曝光慢一倍就行了， 你说的根本不是个事。 说你屁也不懂真是高抬你了

真喜欢看你们对掐 哈哈哈

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 耗子的问题是大学读了个很容易的球系
: 到了美国转了个很容易的光学
: 耗子从来没见识过hardcore的science
: 认为一切的困难就是做实验调个参数
: 只要钱给足，调2年参数不行就调3年，肯定能成功
: 耗子从来没想过有些事情，是理论是不行的，调多少年也没用
: 老的例子比如著名的永动机
: 新的例子比如印度人的氢弹

你不懂光刻机关键几个

一个震动
一个精确测量
一个是镜头

都是我的强项。 你别丢人了好不好，你实在是外行。

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 耗子的问题是大学读了个很容易的球系
: 到了美国转了个很容易的光学
: 耗子从来没见识过hardcore的science
: 认为一切的困难就是做实验调个参数
: 只要钱给足，调2年参数不行就调3年，肯定能成功
: 耗子从来没想过有些事情，是理论是不行的，调多少年也没用
: 老的例子比如著名的永动机
: 新的例子比如印度人的氢弹

瞎猜的话没必要说这么多吧？

【 在 octane (octane) 的大作中提到: 】
: 真正重要的是人和有效的研发组合机制，但是大佬们不喜欢这么做。
: 别人一个项目几千人几百个博士，你丫几个博士领头，几百个人就想几年内完成别人几
: 十年全世界精英的工作？
: 把耗子这样的弄回去，别的不说，加快1周进展还是可能的。那么20年差距缩短为5年就
: 是15x52=780周。每个人安家费1000万人刀，加上5年工资500万，就是780x1500万=
117
: 亿人刀。关键的是这么一个项目就需要这么多，这个行业卡脖子的多了去了，投入几万
: 亿人刀搞研发是必须的。这么多钱大佬们分不香吗？
: 研发组合机制就更难了。人越多越乱。现在懂行的不敢多说，不懂的尤其是论文生产能
: 手瞎指挥，失败是必然的。

你这人才推屁股是我鳖的重大损失！

霸气。。。赞。

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 你不懂光刻机关键几个
: 一个震动
: 一个精确测量
: 一个是镜头
: 都是我的强项。 你别丢人了好不好，你实在是外行。

我老打字用的是语音输入

【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 瞎猜的话没必要说这么多吧？
: 117

苍蝇。

【 在 G99991 (99991) 的大作中提到: 】
: 你这人才推屁股是我鳖的重大损失！

光刻机你敢点出问题在哪不？没事，说。

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 真喜欢看你们对掐 哈哈哈

属实

比如北航东baby的铁基高温合金，党妈等了半个世纪，投入数以亿计，数以万计的人调了半个世纪的参数，

还是不行，

最后只能全盘放弃，改走羊大爷的铼基高温合金的道路

北航东baby操控了航空工业部整整50年，最后老了退休了这个项目才完蛋，年轻人才有机会投入铼基高温合金

太鸡吧搞笑了

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 真喜欢看你们对掐 哈哈哈

好吧。说说看怎么测量inblue提到的zernike参数

我老什么也不懂，什么也不知道，只会copy paste

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 你不懂光刻机关键几个
: 一个震动
: 一个精确测量
: 一个是镜头
: 都是我的强项。 你别丢人了好不好，你实在是外行。

前面说了那么多 自己看就行了

【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 光刻机你敢点出问题在哪不？没事，说。

什么也不懂怎么知道什么问题重要呢？

【 在 octane (octane) 的大作中提到: 】
: 好吧。说说看怎么测量inblue提到的zernike参数
: 我老什么也不懂，什么也不知道，只会copy paste

跟sin cos差不多，
都是正交的，
二维。

不同order代表不同的abberation..
可以用干涉仪，
wavefront sensor
3d mapping， 光学或力学探头测
办法多了去

这种小儿科的也拿出来问， 丢人否？

搞这种波， 函数， 第一的就是地球物理。。 一堆搞物理的傻逼屁都不懂。 zernike
就是幼儿园的， 在搞地球物理的看来。

基本常识还是懂的。高端的专业的就不知道了

【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 什么也不懂怎么知道什么问题重要呢？

镜头的zernike参数测量和调节 决定了曝光EPE能达到多少 这个是最终确定产品良品率的东西 这个不重要什么重要。。。 你连最基础的问题都看不懂 就不要插科打诨了

【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 什么也不懂怎么知道什么问题重要呢？

我老是纯粹外行，只是测试一下你是否是吃这碗饭的，见笑。

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 跟sin cos差不多，
: 都是正交的，
: 二维。
: 不同order代表不同的abberation..
: 可以用干涉仪，
: wavefront sensor
: 3d mapping， 光学或力学探头测
: 办法多了去
: 这种小儿科的也拿出来问， 丢人否？
: 搞这种波， 函数， 第一的就是地球物理。。 一堆搞物理的傻逼屁都不懂。
zernike
: ...................

说的是关键问题。你跟别人说的不在一个点上。你敢说你指出的问题是关键？

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 前面说了那么多 自己看就行了

那你可以先问问general的问题，比如“关键问题在哪？”。直接上技术细节问题不一
定有意义。

【 在 octane (octane) 的大作中提到: 】
: 基本常识还是懂的。高端的专业的就不知道了

你这个态度还行。

【 在 octane (octane) 的大作中提到: 】
: 我老是纯粹外行，只是测试一下你是否是吃这碗饭的，见笑。
: zernike

这尼玛就是光刻机透镜里面最关键的地方
这个技术里面包括了光刻使用过程中造成的镜片畸变补偿 耗子都不一定做过

这些东西不关键啥是关键

【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 说的是关键问题。你跟别人说的不在一个点上。你敢说你指出的问题是关键？

我不懂，我也没问技术问题。但是你这个跟别人说的不在一个点上。你可以霸气的说，我这个就是最重要的问题！那我可以接受。

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 镜头的zernike参数测量和调节 决定了曝光EPE能达到多少 这个是最终确定产品良品率
: 的东西 这个不重要什么重要。。。 你连最基础的问题都看不懂 就不要插科打诨了

这个我没有做过

估计华人做过的没有或很少， 都是最关键的地方。
白皮很多也是做到测量参数， 大致猜测
设计是看不到的。

都是公司内部软件和控制， 没有几年做不出来。 但是国内可能也有。。毕竟国内的人还是追踪的。

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 这尼玛就是光刻机透镜里面最关键的地方
: 这个技术里面包括了光刻使用过程中造成的镜片畸变补偿 耗子都不一定做过
: 这些东西不关键啥是关键

好，我接受。

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 这尼玛就是光刻机透镜里面最关键的地方
: 这个技术里面包括了光刻使用过程中造成的镜片畸变补偿 耗子都不一定做过
: 这些东西不关键啥是关键

光源的关键是功率大小和时间稳定性 决定了曝光线宽稳定性

机台关键是平台运行速度和精度 以及里面包含的测量模块精度和速度 决定芯片套刻精度

镜片模块关键是zernike系数的测量和控制 决定镜片长期稳定性 这个是芯片最终图形
置放误差的决定因素

你还想知道啥关键问题 接着问

【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 说的是关键问题。你跟别人说的不在一个点上。你敢说你指出的问题是关键？

凡是出发点是依靠别人的，都注定失败。更不要说靠日本。看看近期上蹿下跳的，比美帝还积极。何况日本政治上根本做不了主。日本韩国，国家基本是美国掌握一大半。

国内应该有人做 尝试找过具体参数的参考资料没找着 。。。

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这个我没有做过
: 估计华人做过的没有或很少， 都是最关键的地方。
: 白皮很多也是做到测量参数， 大致猜测
: 设计是看不到的。
: 都是公司内部软件和控制， 没有几年做不出来。 但是国内可能也有。。毕竟国内的人
: 还是追踪的。

哦。你问的那个zernike系数和耗子说的镜头在一个点上。你说的这几点和耗子说的倒
是合拍。好。你们继续。我观看。

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 光源的关键是功率大小和时间稳定性 决定了曝光线宽稳定性
: 机台关键是平台运行速度和精度 以及里面包含的测量模块精度和速度 决定芯片套刻精
: 度
: 镜片模块关键是zernike系数的测量和控制 决定镜片长期稳定性
: 你还想知道啥关键问题 接着问

那么再看你提到的震动。这个怎么减小？单纯负反馈不够精度吧

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这个我没有做过
: 估计华人做过的没有或很少， 都是最关键的地方。
: 白皮很多也是做到测量参数， 大致猜测
: 设计是看不到的。
: 都是公司内部软件和控制， 没有几年做不出来。 但是国内可能也有。。毕竟国内的人
: 还是追踪的。

也不能说依靠日本。但是技术上合作，政治上拉拢，策略是这么个策略。

【 在 singwind1 (liveforsun) 的大作中提到: 】
: 凡是出发点是依靠别人的，都注定失败。更不要说靠日本。看看近期上蹿下跳的，比美
: 帝还积极。何况日本政治上根本做不了主。日本韩国，国家基本是美国掌握一大半。

震动是靠机械设计

实际上电子显微镜的分辨率提高 也跟机械设计有关

【 在 octane(octane) 的大作中提到: 】

: 那么再看你提到的震动。这个怎么减小？单纯负反馈不够精度吧

比如为啥螺旋桨要5叶而不是6叶

为啥直10的4叶尾桨夹角不是90度

这些都涉及高深的理论

就是给你们搞机械的说了你们也不懂

【 在 allienpig (猪 in black) 的大作中提到: 】
: 震动是靠机械设计
: 实际上电子显微镜的分辨率提高 也跟机械设计有关
:
: 那么再看你提到的震动。这个怎么减小？单纯负反馈不够精度吧
:

怎么在极高速下做到纳米级别的停止位置精度 机械设计的要点在哪儿？ 我没做过这个

【 在 allienpig (猪 in black) 的大作中提到: 】
: 震动是靠机械设计
: 实际上电子显微镜的分辨率提高 也跟机械设计有关
: : 那么再看你提到的震动。这个怎么减小？单纯负反馈不够精度吧
:

要点就是得用超声波马达

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 怎么在极高速下做到纳米级别的停止位置精度 机械设计的要点在哪儿？ 我没做过
这个

那不是单反里面用的吗 能满足光刻机那么高速度吗

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 要点就是得用超声波马达
: 这个

对

超声波马达的特点是高速高力矩高精度

连航天飞机机械臂都是超声波马达

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 那不是单反里面用的吗 能满足光刻机那么高速度吗

压电做动器
外加直线电机
外加高精度光栅测量
应该都是这个路数
我看过几篇paper
当然是公开的那种

机械结构的复杂性
跟控制的复杂有个trade off

平台是磁浮的

【 在 Inblue(随便吧) 的大作中提到: 】

: 怎么在极高速下做到纳米级别的停止位置精度 机械设计的要点在哪儿？ 我没
做过这个

有意思 压电材料被玩儿出花来了 lol

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 对
: 超声波马达的特点是高速高力矩高精度
: 连航天飞机机械臂都是超声波马达

所以你在传统电磁步进电机框框内怎么调参数怎么做实验也是搞不出来这玩意的

首先需要在理论上突破

【 在 allienpig (猪 in black) 的大作中提到: 】
: 压电做动器
: 外加直线电机
: 外加高精度光栅测量
: 应该都是这个路数
: 我看过几篇paper
: 当然是公开的那种
: 机械结构的复杂性
: 跟控制的复杂有个trade off
: 平台是磁浮的
:
: 怎么在极高速下做到纳米级别的停止位置精度 机械设计的要点在哪儿？ 我没
: ...................

嗯 刚查了一下 差不多就是这么做的

耗子应该参加过光栅测量仪器的开发

【 在 allienpig (猪 in black) 的大作中提到: 】
: 压电做动器
: 外加直线电机
: 外加高精度光栅测量
: 应该都是这个路数
: 我看过几篇paper
: 当然是公开的那种
: 机械结构的复杂性
: 跟控制的复杂有个trade off
: 平台是磁浮的
: : 怎么在极高速下做到纳米级别的停止位置精度 机械设计的要点在哪儿？ 我没
: ...................

不是步进电机。

步进电机是最便宜的精密控制方案。

你别小瞧电磁控制
硬盘上的磁头定位就是电磁控制的
音圈电机 也能做到几十纳米的定位精度
当然了这个定位精度 取决于反馈环节的测量精度。

【 在 furoci(伊千枝) 的大作中提到: 】
<br>: 所以你在传统电磁步进电机框框内怎么调参数怎么做实验也是搞不出来这玩意的
<br>: 首先需要在理论上突破
<br>

你看看现在很多焊接机器人的机械臂就是超声电机驱动的，速度非常快，定位精确，可以做精密焊接

用电磁步进电机是实现不了的

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 有意思 压电材料被玩儿出花来了 lol

弃婴真的啥都懂。。。 你有啥领域不懂的 跟我们说一下

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你看看现在很多焊接机器人的机械臂就是超声电机驱动的，速度非常快，定位精确，可
: 以做精密焊接
: 用电磁步进电机是实现不了的

我不做这个，

应该基于一些原则， 就是减震和避开resonant frequency
分离平台 balance必须动的组件， 比如wafer stage和reticle stage
和适时检测调整， 比如精密的镜头
材料强度， 温度变化，等等细节。

这都是openly知道的， 根本不是技术原因， 而是市场原因。 就是国家腐败没有远见
。。

【 在 octane (octane) 的大作中提到: 】
: 那么再看你提到的震动。这个怎么减小？单纯负反馈不够精度吧

嗯,按你的说法中国人只要互杀一下,啥问题都解决了.

【 在 piggybank (没钱的小猪猪) 的大作中提到: 】
: MB，把贪官奸商杀一批，把收缴的脏款拿去补贴科研人员，十年完全搞得出来！全是: TMD的贪官祸害了，还跟柳传志这种奸商勾结，掏空了国家，苦了干活的人。

精密控制第一要设计好， 把各种因素考虑进去

第二是要测试各种变化， 让其repeatable

第三检测确认， 实现repeatility.

这些都是日本强项。 关键是repeatable 就好了，， 而不是绝对位置， ，。。。 并
不难， 就是要repeatable， 每个平台， 都有其recipe，测试好就行了。

无他， 唯熟悉而已。

国内啥也没有， 让你个总共保证1nm那是不行。 欧美啥都有， 人家测试几下信心就来了。。。 他妈的给共产党卖命真苦逼。。

我觉得这个帖子的几位可以合作搞一个项目，也不用太难的。貌似加起来什么都包括了。

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 精密控制第一要设计好， 把各种因素考虑进去
: 第二是要测试各种变化， 让其repeatable
: 第三检测确认， 实现repeatility.
: 这些都是日本强项。 关键是repeatable 就好了，， 而不是绝对位置， ，。。。 并
: 不难， 就是要repeatable， 每个平台， 都有其recipe，测试好就行了。
: 无他， 唯熟悉而已。
: 国内啥也没有， 让你个总共保证1nm那是不行。 欧美啥都有， 人家测试几下信心就来
: 了。。。 他妈的给共产党卖命真苦逼。。

你想多了 遇到一起就开始打嘴炮 多年的爱恨情仇

【 在 octane (octane) 的大作中提到: 】
: 我觉得这个帖子的几位可以合作搞一个项目，也不用太难的。貌似加起来什么都包括了。

不一定。有人网上看起来暴跳，实际工作中认真

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 你想多了 遇到一起就开始打嘴炮 多年的爱恨情仇
: 了。

我之前看个report
说那个台子不是金属的
是一种玻璃
具有几乎零膨胀系数
而且是可以机加工的玻璃
德国产的
lol

【 在 hhcare(龙龙) 的大作中提到: 】
<br>: 精密控制第一要设计好， 把各种因素考虑进去
<br>: 第二是要测试各种变化， 让其repeatable
<br>: 第三检测确认， 实现repeatility.
<br>: 这些都是日本强项。 关键是repeatable 就好了，， 而不是绝对位置， ，。。
。 并
<br>: 不难， 就是要repeatable， 每个平台， 都有其recipe，测试好就行了
。
<br>: 无他， 唯熟悉而已。
<br>: 国内啥也没有， 让你个总共保证1nm那是不行。 欧美啥都有， 人家测试几下信
心就来
<br>: 了。。。 他妈的给共产党卖命真苦逼。。
<br>

入行得学习三年；精通得在工作中学习10年。
我鳖没有早做打算。

入行的人如果每天学习一个小时习近平思想，他的专业就废了，因为大脑装不下。
我鳖得想想怎样的激励机制，能让人每天投入10个小时（向正确的人）学习专业知识，用于生产中。不要老吹从业人员平均25岁。

碳化硅陶瓷而已，
这个不稀奇，
早就被人熟知了

【 在 allienpig (猪 in black) 的大作中提到: 】
: 我之前看个report
: 说那个台子不是金属的
: 是一种玻璃
: 具有几乎零膨胀系数
: 而且是可以机加工的玻璃
: 德国产的

zerodur
...........

The tight tolerance on CTE, ±0.007×10−6 K−1, allows for its
use in high-precision applications.

【 在 allienpig (猪 in black) 的大作中提到: 】
: 我之前看个report
: 说那个台子不是金属的
: 是一种玻璃
: 具有几乎零膨胀系数
: 而且是可以机加工的玻璃
: 德国产的
: lol
:
: 精密控制第一要设计好， 把各种因素考虑进去
:
: 第二是要测试各种变化， 让其repeatable
:
: 第三检测确认， 实现repeatility.
: ...................

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 碳化硅陶瓷而已，
: 这个不稀奇，
: 早就被人熟知了

碳化硅长春光机所很会搞。。。

然而还是0膨胀玻璃更好。比如你家的0膨胀玻璃灶台，高温下弄了水，也不破裂。碳化硅强度大，然而还是有那么一些热胀冷缩。

对
就是这个
忘了词

【 在 hhcare(龙龙) 的大作中提到: 】

: zerodur

: ...........

【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 你想多了 遇到一起就开始打嘴炮 多年的爱恨情仇
: 了。

没钱没产品，搞个JB。

所以这不稀奇，不是突破关键，党妈这么多年也没嚷嚷过这地方需要突破

【 在 verdelite (石头) 的大作中提到: 】
: 碳化硅长春光机所很会搞。。。
: 然而还是0膨胀玻璃更好。比如你家的0膨胀玻璃灶台，高温下弄了水，也不破裂。碳化
: 硅强度大，然而还是有那么一些热胀冷缩。

清华精仪系的出来走几步

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 结果中国他妈的靠美国，，
: 把留学的钱买了尼康等日本设备， 不但人才很多都是中国人做，
: 根本不会被西方卡脖子。
: 日本一看， 他妈的你急着装孙子投降
: 看看谁来得更快更自然。。
: 中国拱手让出市场， 抱美国大腿， 他妈的还瞧不起日本人。。
: 二十年前我就认为中国应该支持日本半导体设备公司。。
: 结果都死了。。
: euv的确太难了，， 主要投资大， 土鳖国我觉得真心很难，， 除非低三下四私下求日
: 本。。。
: ...................