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中国首台DUV光刻机完成认证，这场“闹剧”快结束了！
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f
foofy
大约 3 年
楼主 (未名空间)
https://www.eet-china.com/mp/a87688.html
中国首台DUV光刻机完成认证，这场“闹剧”快结束了！
半导体工艺与设备 2021-11-04 09:247771浏览0评论11点赞
近几年，中国科技企业，尤其是华为在5G、半导体等方面所取得的成就，让所有国人为之骄傲。但是，包括华为在内的科技巨头都无法忽略一个短板问题，那就是芯片技术对美国的依赖。比如PC方面依赖于美国的AMD、英特尔，手机方面依赖于高通等。
虽然龙芯、紫光展锐等企业的芯片可以满足国内市场需求，华为的芯片甚至还能跻身世界第一梯队，但中美贸易摩擦的不断升级，美国开始利用芯片专利对我国实施技术封锁，这让华为被卡住了脖子，设计好的芯片无法量产，中芯国际也被断粮，无法生产高端芯片，龙芯、紫光展锐也需要找台积电进行代工。而这一切，正是因为缺少芯片制造过程中的核心设备，光刻机。
不过，美国此举反而彻底让我们意识到了“核心能力和技术必须要靠自己”。为推动国产半导体产业的发展，我国出台了免税等优惠政策，上万家企业入局半导体。
虽然不乏滥竽充数的企业，但也有不少真正有实力的科技巨头，比如中芯国际、华为、上海微电子等等。而如今，我国在光刻机领域也获得了重大突破！
国产DUV光刻机完成认证
据报道，国产光刻机巨头上海微电所研发的首台国产28nm光刻机已经完成了认证，并且今年年底将实现量产。28nm光刻机是深紫光刻机，也就是DUV光刻机，不仅能实现28nm
、14nm工艺芯片的量产，同时还可以通过多次曝光的方式，实现非EUV 7nm工艺芯片的
生产，这也意味着，从今年年底或明年年初，我国将进入中高端芯片量产时代。
在芯片市场，14nm芯片是一个成熟工艺和先进工艺的分界点，现阶段，28nm、55nm工艺芯片在市场需求中所占的比例非常高，而随着消费者的要求越来越高，14nm工艺芯片的市场需求正在快速增长。
公开数据显示，这些成熟工艺芯片的出货量占据了90%以上的市场占比。虽然国产光刻
机还无法实现7nm、5nm EUV工艺芯片的量产，但这部分芯片大部分用在了智能手机、PC和平板这些高性能设备上，市场占比很小。
而在产能方面，根据国家统计局公布的数据显示，2021年1-7月份中企生产的芯片多达
2036亿颗，同比增长47.3%，平均每天超过10亿颗芯片。除此之外，中科院研发的高能
同步光源，中科科美所研制的镀膜装备，已经满足了EUV光刻机对光源及镜头的要求，
这为我国研制EUV光刻机提供了有力支撑，可以说，这场芯片闹剧快结束了！通过技术
遏制保持美国技术领先的做法，这本身就是一场闹剧，从5G到航天、北斗，我们可以发现，靠技术封锁、技术脱钩打压中国，注定是失败的！
值得注意的是，市场往往是此消彼长，中国芯片产能和技术的不断的提升，受影响最大的无疑就是美国技术所撑起的半导体企业，再想起国内军事专家张召忠此前讲过的话，感觉“美国芯片没人要，中国芯片遍地都是”的日子真的快要来了！
x
xmseraph
大约 3 年
2 楼
下一个小目标就是euv呗
z
zhetian
大约 3 年
3 楼
好消息！
z
zhetian
大约 3 年
4 楼
EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
【 在 xmseraph (十万个为什么) 的大作中提到: 】
: 下一个小目标就是euv呗
d
dakedo
大约 3 年
5 楼
你们村没收到消息吗
耗子刚刚投诚我帝了
【 在 zhetian (叶凡) 的大作中提到: 】
: EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
z
zhetian
大约 3 年
6 楼
耗老师是身在曹营心在汉，偶尔献个连环计
【 在 dakedo (大蝌蚪) 的大作中提到: 】
: 你们村没收到消息吗
: 耗子刚刚投诚我帝了
G
GouSheng
大约 3 年
7 楼
年初说的年底实行量产，按时完成了
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a87688.html
: 中国首台DUV光刻机完成认证，这场“闹剧”快结束了！
: 半导体工艺与设备 2021-11-04 09:247771浏览0评论11点赞
: 近几年，中国科技企业，尤其是华为在5G、半导体等方面所取得的成就，让所有国人为
: 之骄傲。但是，包括华为在内的科技巨头都无法忽略一个短板问题，那就是芯片技术对
: 美国的依赖。比如PC方面依赖于美国的AMD、英特尔，手机方面依赖于高通等。
: 虽然龙芯、紫光展锐等企业的芯片可以满足国内市场需求，华为的芯片甚至还能跻身世
: 界第一梯队，但中美贸易摩擦的不断升级，美国开始利用芯片专利对我国实施技术封锁
: ，这让华为被卡住了脖子，设计好的芯片无法量产，中芯国际也被断粮，无法生产高端
: 芯片，龙芯、紫光展锐也需要找台积电进行代工。而这一切，正是因为缺少芯片制造过
: ...................
T
TheMatrix
大约 3 年
8 楼
哈哈。inblue个狗东西。
【 在 zhetian (叶凡) 的大作中提到: 】
: EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
I
Inblue
大约 3 年
9 楼
小粉蛆已经被党妈逼疯了lol
心碎了一地
看着这些粉蛆一次次被党妈打脸 真的很娱乐
【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 哈哈。inblue个狗东西。
I
Inblue
大约 3 年
10 楼
哎哟 你们廊庑现在还教光刻机？ 小手的教材这都讲
吗？
【 在 zhetian (叶凡) 的大作中提到: 】
: EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
w
wildThing
大约 3 年
11 楼
无来源的瞎猜文章有意思吗？ DUV要是能做出来，还进口个屁。
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a87688.html
: 中国首台DUV光刻机完成认证，这场“闹剧”快结束了！
: 半导体工艺与设备 2021-11-04 09:247771浏览0评论11点赞
: 近几年，中国科技企业，尤其是华为在5G、半导体等方面所取得的成就，让所有国人为
: 之骄傲。但是，包括华为在内的科技巨头都无法忽略一个短板问题，那就是芯片技术对
: 美国的依赖。比如PC方面依赖于美国的AMD、英特尔，手机方面依赖于高通等。
: 虽然龙芯、紫光展锐等企业的芯片可以满足国内市场需求，华为的芯片甚至还能跻身世
: 界第一梯队，但中美贸易摩擦的不断升级，美国开始利用芯片专利对我国实施技术封锁
: ，这让华为被卡住了脖子，设计好的芯片无法量产，中芯国际也被断粮，无法生产高端
: 芯片，龙芯、紫光展锐也需要找台积电进行代工。而这一切，正是因为缺少芯片制造过
: ...................
f
foofy
大约 3 年
12 楼
进口给中芯南方用
【 在 wildThing (东风起兮轰他娘, 安得巨浪兮吞扶桑) 的大作中提到: 】
: 无来源的瞎猜文章有意思吗？ DUV要是能做出来，还进口个屁。
o
overlap
大约 3 年
13 楼
没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
f
foofy
大约 3 年
14 楼
马前卒是谁？他消息来源？
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
: 刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
I
Inblue
大约 3 年
15 楼
https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
基本确认验收失败了
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
: 刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
d
dragonfly
大约 3 年
16 楼
必然的，仿制，比原创容易多了
c
costco
大约 3 年
17 楼
老将要心碎了
f
foofy
大约 3 年
18 楼
原来是个土木工程师的自媒体
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
: 基本确认验收失败了
I
Inblue
大约 3 年
19 楼
券商那边传过来的消息 导致半导体小幅跳水
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
: 基本确认验收失败了
f
foofy
大约 3 年
20 楼
原来炒股的
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 券商那边传过来的消息 导致半导体小幅跳水
c
coltzhao
大约 3 年
21 楼
先不说成没成，验收失败就是胡扯。
大概会失败，就不会送上去验收。
【 在 Inblue(随便吧) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
: 基本确认验收失败了
f
furoci
大约 3 年
22 楼
验收怎么会失败
太搞笑了
按照中国传统，都到验收这一步了，各种戏码都是做足了的，绝对不可能失败
就像你们博士论文答辩一样，他妈的尽管全是胡说八道，下面也是说好妙的
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 券商那边传过来的消息 导致半导体小幅跳水
I
Inblue
大约 3 年
23 楼
现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起码的常识要有吧
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: 原来炒股的
f
furoci
大约 3 年
24 楼
属实
一帮囼巴子，
你妈，党妈的验收哪有不胜利成功的？
【 在 coltzhao (MHY) 的大作中提到: 】
: 先不说成没成，验收失败就是胡扯。
: 大概会失败，就不会送上去验收。
:
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
:
: 基本确认验收失败了
:
f
furoci
大约 3 年
25 楼
我早就说过
党妈的核心问题是光源物理
你妈，这根光学什么的毫无关系，是原子分子物理领域的内容
祖国在这方面，恰恰是一片空白
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起
: 码的常识要有吧
I
Inblue
大约 3 年
26 楼
嗯 汉芯也成功验收了 党妈这点倒是可以放心 lol
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 属实
: 一帮囼巴子，
: 你妈，党妈的验收哪有不胜利成功的？
I
Inblue
大约 3 年
27 楼
你说这帮孙子会不会直接拿个40瓦的小灯泡去糊弄党妈？
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 我早就说过
: 党妈的核心问题是光源物理
: 你妈，这根光学什么的毫无关系，是原子分子物理领域的内容
: 祖国在这方面，恰恰是一片空白
m
midlander
大约 3 年
28 楼
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起
: 码的常识要有吧
哪有博士论文写不出来，去要求参加答辩的
h
hhcare
大约 3 年
29 楼
这得多自恋啊， 造氢弹原子弹的国家不懂原子分子。。。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 我早就说过
: 党妈的核心问题是光源物理
: 你妈，这根光学什么的毫无关系，是原子分子物理领域的内容
: 祖国在这方面，恰恰是一片空白
f
furoci
大约 3 年
30 楼
那你说说，为什么要用锡？而不用氙？
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这得多自恋啊， 造氢弹原子弹的国家不懂原子分子。。。
I
Inblue
大约 3 年
31 楼
陈进 忘了？ 不过他确实也通过两院院士的验收了
【 在 midlander () 的大作中提到: 】
: 哪有博士论文写不出来，去要求参加答辩的
f
foofy
大约 3 年
32 楼
我只能说没组装前所有部件都弄好了。这是军事大本营没被封前上微内部人士透漏的。
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起
: 码的常识要有吧
f
furoci
大约 3 年
33 楼
这是被组内人爆料死掉的，当年验收哪有不成功的
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 陈进 忘了？ 不过他确实也通过两院院士的验收了
I
Inblue
大约 3 年
34 楼
光源就是最重要的没组装前的部件。。。
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: 我只能说没组装前所有部件都弄好了。这是军事大本营没被封前上微内部人士透漏的。
h
hhcare
大约 3 年
35 楼
说句良心话，
现在不知道为什么根本无所谓， 只要知道菜单就行了。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 那你说说，为什么要用锡？而不用氙？
f
furoci
大约 3 年
36 楼
你看你，又顾左右而言他了
我问你，为什么汽车的HID灯要用氙气？这个跟光刻euv光源是一个原理
你根本就是屁都不懂
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 说句良心话，
: 现在不知道为什么根本无所谓， 只要知道菜单就行了。
f
foofy
大约 3 年
37 楼
好像叫科益虹源。你自己放狗。
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 光源就是最重要的没组装前的部件。。。
I
Inblue
大约 3 年
38 楼
我知道啊 北京的 我也知道它们家最大功率的ArF激光器40瓦 达不到ArFi的要求 这个问题没解决前 啥都是假的
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: 好像叫科益虹源。你自己放狗。
f
furoci
大约 3 年
39 楼
已经不错了
至少以前美容业的准分子激光器都是日本进口的
现在满大街美容院的准分子激光器都是国产的了
算是党妈发展国产光刻机的第一个收获的副产品吧
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我知道啊 北京的 我也知道它们家最大功率的ArF激光器40瓦 达不到ArFi的要求 这个
: 问题没解决前 啥都是假的
I
Inblue
大约 3 年
40 楼
我猜是在13.5nm附近的能量峰值（增益率）不够？
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你看你，又顾左右而言他了
: 我问你，为什么汽车的HID灯要用氙气？这个跟光刻euv光源是一个原理
: 你根本就是屁都不懂
I
Inblue
大约 3 年
41 楼
做美容的当然不需要辣么高的功率啦 也不怕把脸给烧了 lol
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 已经不错了
: 至少以前美容业的准分子激光器都是日本进口的
: 现在满大街美容院的准分子激光器都是国产的了
: 算是党妈发展国产光刻机的第一个收获的副产品吧
f
furoci
大约 3 年
42 楼
我也不知道，所以我在问它啊
按照原子photoionization理论,应该用氙气，而不是锡，氙气的内层电子
photoionization截面要比锡大很多，但是羊大爷最后选了锡
所以很多细节都没人说出来
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我猜是在13.5nm附近的能量峰值不够？
I
Inblue
大约 3 年
43 楼
我记得有个一级激光能量转换效率曲线 锡应该在13.5左右有比较高的效率 要不然euv
光能不够。我找找看
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 我也不知道，所以我在问它啊
: 按照原子photoionization理论,应该用氙气，而不是锡，氙气的内层电子
: photoionization截面要比锡大很多，但是羊大爷最后选了锡
: 所以很多细节都没人说出来
c
cohcoh
大约 3 年
44 楼
符合我鳖小步快跑的特性。
S
SquareRoot
大约 3 年
45 楼
赞！
摩尔定律到头了，追赶十年美国一点办法没有。
H
Hangout
大约 3 年
46 楼
既然能搞到40瓦，搞到60瓦就不会太难。
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我知道啊 北京的 我也知道它们家最大功率的ArF激光器40瓦 达不到ArFi的要求 这个
: 问题没解决前 啥都是假的
I
Inblue
大约 3 年
47 楼
没有直接的答案
从图上看起来应该是锡辐射euv能量和CO2能量沉积区相近 有较高的能量转换效率。 而且本身的plasma密度高会带来更高的euv功率。 合理么
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我记得有个一级激光能量转换效率曲线 锡应该在13.5左右有比较高的效率 要不然
euv
: 光能不够。我找找看
I
Inblue
大约 3 年
48 楼
搞了快十年了
【 在 Hangout (山顶洞人) 的大作中提到: 】
: 既然能搞到40瓦，搞到60瓦就不会太难。
t
tmbb2012
大约 3 年
49 楼
这件事，还得再等等。。。
让子弹飞一阵。
个人倾向于，没这么容易成功。 睡前消息的督工也不是个笨蛋。当年也是少年班出身
。
h
hhcare
大约 3 年
50 楼
这个就是光谱的问题， 二十多年前我就做了， 只不过懒得吹而已。
算这个东西， 我们原来研究的组就做类似的东西， 我不做，咋回事还是清楚一些的。
我第一个工作就是mercury xeon lamp。 供选择的基本是日本人的， 小日本很牛逼。 基本都是等离子体， 能级， 差不多以后还得做实验， 算是不大可能算出来的。
那些简单的就是arc lamp， 通过高电压电子轰击产生。
现在只不过是用激光。。
物理也就仅此而已。
工程上就是给一个环境， 然后做实验。 既然有了recipe，根本不是啥问题，
我都说了， 难不在光源， 对中国来说。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你看你，又顾左右而言他了
: 我问你，为什么汽车的HID灯要用氙气？这个跟光刻euv光源是一个原理
: 你根本就是屁都不懂
w
wildThing
大约 3 年
51 楼
禁止进口DUV，禁止用台湾流片，禁止销售苹果电话。我保证三年内14nm完全国产。
要不是美帝禁止在航天上和中国合作，能由现在全面开花的结果吗？
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这个就是光谱的问题， 二十多年前我就做了， 只不过懒得吹而已。
: 算这个东西， 我们原来研究的组就做类似的东西， 我不做，咋回事还是清楚一些的。
: 我第一个工作就是mercury xeon lamp。 供选择的基本是日本人的， 小日本很牛逼
。
: 基本都是等离子体， 能级， 差不多以后还得做实验， 算是不大可能算出来的。
: 那些简单的就是arc lamp， 通过高电压电子轰击产生。
: 现在只不过是用激光。。
: 物理也就仅此而已。
: 工程上就是给一个环境， 然后做实验。 既然有了recipe，根本不是啥问题，
: 我都说了， 难不在光源， 对中国来说。
f
furoci
大约 3 年
52 楼
你只是用mercury xeon lamp测了下光谱而已
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这个就是光谱的问题， 二十多年前我就做了， 只不过懒得吹而已。
: 算这个东西， 我们原来研究的组就做类似的东西， 我不做，咋回事还是清楚一些的。
: 我第一个工作就是mercury xeon lamp。 供选择的基本是日本人的， 小日本很牛逼
。
: 基本都是等离子体， 能级， 差不多以后还得做实验， 算是不大可能算出来的。
: 那些简单的就是arc lamp， 通过高电压电子轰击产生。
: 现在只不过是用激光。。
: 物理也就仅此而已。
: 工程上就是给一个环境， 然后做实验。 既然有了recipe，根本不是啥问题，
: 我都说了， 难不在光源， 对中国来说。
h
hhcare
大约 3 年
53 楼
你觉得光源只是光谱， 不是radiance？
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你只是用mercury xeon lamp测了下光谱而已
: 。
: 。
h
hhcare
大约 3 年
54 楼
你觉得光源只是光谱， 不是radiance？
我要做的是测量spectral radiance
还有温度和稳定性， 寿命。。。
你是不是只是纸上谈兵啊。
euv激光， 控制plasma， 需要一些简单的光压计算， 等等。
其实都不算难， 有了平台， 做实验大家都信服
还有高速摄影， 等等都是光学电子， 真跟物理没有多大关系 。。。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你只是用mercury xeon lamp测了下光谱而已
: 。
: 。
d
dabomb
大约 3 年
55 楼
就想知道，这个芯片大跃进，什么时候才能有结果啊？
上次大跃进，一两年就达到了亩产十万斤。
o
overlap
大约 3 年
56 楼
又查了一下，网上都是几个月之前的消息。我估计是自媒体博眼球瞎传
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
: 刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
w
wildThing
大约 3 年
57 楼
没有准信就是吹牛。
国家没有搞火箭的勇气，这样永远摆脱不了对进口的依赖
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 又查了一下，网上都是几个月之前的消息。我估计是自媒体博眼球瞎传
v
verdelite
大约 3 年
58 楼
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 又查了一下，网上都是几个月之前的消息。我估计是自媒体博眼球瞎传
几个月前的自媒体假消息我见一个怼一个，还没有怼错的。
t
tmbb2012
大约 3 年
59 楼
目前科益虹源解决的光源并且小批产业化的是248nm的第三代光源。
https://kknews.cc/science/j3m2g96.html
193nm的第四代光源，还没有成熟产品出现（或者不对外公布）
-----
【通过以上技术突破，2020年4月，公司4kHz 40W KrF光刻准分子曝光光源实现了产品
定型，达到光刻机性能需求，一举打破了国外长期垄断，填补了国内准分子激光技术在高端光刻领域的空白。】
总结：2021年28nm光刻机仍然任重道远。
c
coltzhao
大约 3 年
60 楼
用锡那个是EUV。。。
这儿说的是DUV。。。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 那你说说，为什么要用锡？而不用氙？
q
ql2015
大约 3 年
61 楼
https://xw.qq.com/partner/hwbrowser/20210824A095RW/20210824A095RW00?ADTAG=
hwb&pgv_ref=hwb&appid=hwbrowser&ctype=news&ivk_sa=1023197a
f
furoci
大约 3 年
62 楼
说的就是EUV，为啥用锡做介质，而不是用Xe，耗子狗屁不通，以为就是做个实验而已
Xe的photoionization的截面：
【 在 coltzhao (MHY) 的大作中提到: 】
: 用锡那个是EUV。。。
: 这儿说的是DUV。。。
f
furoci
大约 3 年
63 楼
KrF只有40瓦很难理解
上海的那个激光核聚变装置天光一号也是用KrF驱动的，别说40瓦，40兆瓦都不止
【 在 tmbb2012 (tmbb2012) 的大作中提到: 】
: 目前科益虹源解决的光源并且小批产业化的是248nm的第三代光源。
: https://kknews.cc/science/j3m2g96.html
: 193nm的第四代光源，还没有成熟产品出现（或者不对外公布）
: -----
: 定型，达到光刻机性能需求，一举打破了国外长期垄断，填补了国内准分子激光技术在
: 高端光刻领域的空白。】
: https://i.ibb.co/6WB5Vqj/11-17-1.jpg
: 总结：2021年28nm光刻机仍然任重道远。
f
furoci
大约 3 年
64 楼
所以啊，
估计党妈真搞不定ArF激光
于是就搞了个自己熟门熟路的KrF激光来做光刻机光源
上海那个KrF天光一号搞了超过一个年代了，搞个小号的，驾轻就熟啊
所以什么Inblue说28nm光源只能做到40瓦，
我觉得不可信，天光一号40兆瓦都不止，搞个小号应该不难
I
Inblue
大约 3 年
65 楼
我看到的消息说的是ArF 的功率做不上去
没人会用KrF做immersion的。 商业上不划算。
这次所谓28nm光刻机卖点就是immersion
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 所以啊，
: 估计党妈真搞不定ArF激光
: 于是就搞了个自己熟门熟路的KrF激光来做光刻机光源
: 上海那个KrF天光一号搞了超过一个年代了，搞个小号的，驾轻就熟啊
: 所以什么Inblue说28nm光源只能做到40瓦，
: 我觉得不可信，天光一号40兆瓦都不止，搞个小号应该不难
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中国首台DUV光刻机完成认证，这场“闹剧”快结束了！
半导体工艺与设备 2021-11-04 09:247771浏览0评论11点赞
近几年，中国科技企业，尤其是华为在5G、半导体等方面所取得的成就，让所有国人为之骄傲。但是，包括华为在内的科技巨头都无法忽略一个短板问题，那就是芯片技术对美国的依赖。比如PC方面依赖于美国的AMD、英特尔，手机方面依赖于高通等。
虽然龙芯、紫光展锐等企业的芯片可以满足国内市场需求，华为的芯片甚至还能跻身世界第一梯队，但中美贸易摩擦的不断升级，美国开始利用芯片专利对我国实施技术封锁，这让华为被卡住了脖子，设计好的芯片无法量产，中芯国际也被断粮，无法生产高端芯片，龙芯、紫光展锐也需要找台积电进行代工。而这一切，正是因为缺少芯片制造过程中的核心设备，光刻机。
不过，美国此举反而彻底让我们意识到了“核心能力和技术必须要靠自己”。为推动国产半导体产业的发展，我国出台了免税等优惠政策，上万家企业入局半导体。
虽然不乏滥竽充数的企业，但也有不少真正有实力的科技巨头，比如中芯国际、华为、上海微电子等等。而如今，我国在光刻机领域也获得了重大突破！
国产DUV光刻机完成认证
据报道，国产光刻机巨头上海微电所研发的首台国产28nm光刻机已经完成了认证，并且今年年底将实现量产。28nm光刻机是深紫光刻机，也就是DUV光刻机，不仅能实现28nm
、14nm工艺芯片的量产，同时还可以通过多次曝光的方式，实现非EUV 7nm工艺芯片的
生产，这也意味着，从今年年底或明年年初，我国将进入中高端芯片量产时代。
在芯片市场，14nm芯片是一个成熟工艺和先进工艺的分界点，现阶段，28nm、55nm工艺芯片在市场需求中所占的比例非常高，而随着消费者的要求越来越高，14nm工艺芯片的市场需求正在快速增长。
公开数据显示，这些成熟工艺芯片的出货量占据了90%以上的市场占比。虽然国产光刻
机还无法实现7nm、5nm EUV工艺芯片的量产，但这部分芯片大部分用在了智能手机、PC和平板这些高性能设备上，市场占比很小。
而在产能方面，根据国家统计局公布的数据显示，2021年1-7月份中企生产的芯片多达
2036亿颗，同比增长47.3%，平均每天超过10亿颗芯片。除此之外，中科院研发的高能
同步光源，中科科美所研制的镀膜装备，已经满足了EUV光刻机对光源及镜头的要求，
这为我国研制EUV光刻机提供了有力支撑，可以说，这场芯片闹剧快结束了！通过技术
遏制保持美国技术领先的做法，这本身就是一场闹剧，从5G到航天、北斗，我们可以发现，靠技术封锁、技术脱钩打压中国，注定是失败的！
值得注意的是，市场往往是此消彼长，中国芯片产能和技术的不断的提升，受影响最大的无疑就是美国技术所撑起的半导体企业，再想起国内军事专家张召忠此前讲过的话，感觉“美国芯片没人要，中国芯片遍地都是”的日子真的快要来了！
下一个小目标就是euv呗
好消息！
EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
【 在 xmseraph (十万个为什么) 的大作中提到: 】
: 下一个小目标就是euv呗
你们村没收到消息吗
耗子刚刚投诚我帝了
【 在 zhetian (叶凡) 的大作中提到: 】
: EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
耗老师是身在曹营心在汉，偶尔献个连环计
【 在 dakedo (大蝌蚪) 的大作中提到: 】
: 你们村没收到消息吗
: 耗子刚刚投诚我帝了
年初说的年底实行量产，按时完成了
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a87688.html
: 中国首台DUV光刻机完成认证，这场“闹剧”快结束了！
: 半导体工艺与设备 2021-11-04 09:247771浏览0评论11点赞
: 近几年，中国科技企业，尤其是华为在5G、半导体等方面所取得的成就，让所有国人为
: 之骄傲。但是，包括华为在内的科技巨头都无法忽略一个短板问题，那就是芯片技术对
: 美国的依赖。比如PC方面依赖于美国的AMD、英特尔，手机方面依赖于高通等。
: 虽然龙芯、紫光展锐等企业的芯片可以满足国内市场需求，华为的芯片甚至还能跻身世
: 界第一梯队，但中美贸易摩擦的不断升级，美国开始利用芯片专利对我国实施技术封锁
: ，这让华为被卡住了脖子，设计好的芯片无法量产，中芯国际也被断粮，无法生产高端
: 芯片，龙芯、紫光展锐也需要找台积电进行代工。而这一切，正是因为缺少芯片制造过
: ...................
哈哈。inblue个狗东西。
【 在 zhetian (叶凡) 的大作中提到: 】
: EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
小粉蛆已经被党妈逼疯了lol
心碎了一地
看着这些粉蛆一次次被党妈打脸 真的很娱乐
【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 哈哈。inblue个狗东西。
哎哟 你们廊庑现在还教光刻机？ 小手的教材这都讲
吗？
【 在 zhetian (叶凡) 的大作中提到: 】
: EUV得看菌斑。做成了就是耗老师功劳。做不成就是inblue暗中破坏的
无来源的瞎猜文章有意思吗？ DUV要是能做出来，还进口个屁。
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a87688.html
: 中国首台DUV光刻机完成认证，这场“闹剧”快结束了！
: 半导体工艺与设备 2021-11-04 09:247771浏览0评论11点赞
: 近几年，中国科技企业，尤其是华为在5G、半导体等方面所取得的成就，让所有国人为
: 之骄傲。但是，包括华为在内的科技巨头都无法忽略一个短板问题，那就是芯片技术对
: 美国的依赖。比如PC方面依赖于美国的AMD、英特尔，手机方面依赖于高通等。
: 虽然龙芯、紫光展锐等企业的芯片可以满足国内市场需求，华为的芯片甚至还能跻身世
: 界第一梯队，但中美贸易摩擦的不断升级，美国开始利用芯片专利对我国实施技术封锁
: ，这让华为被卡住了脖子，设计好的芯片无法量产，中芯国际也被断粮，无法生产高端
: 芯片，龙芯、紫光展锐也需要找台积电进行代工。而这一切，正是因为缺少芯片制造过
: ...................
进口给中芯南方用
【 在 wildThing (东风起兮轰他娘, 安得巨浪兮吞扶桑) 的大作中提到: 】
: 无来源的瞎猜文章有意思吗？ DUV要是能做出来，还进口个屁。
没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
马前卒是谁？他消息来源？
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
: 刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
基本确认验收失败了
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
: 刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
必然的，仿制，比原创容易多了
老将要心碎了
原来是个土木工程师的自媒体
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
: 基本确认验收失败了
券商那边传过来的消息 导致半导体小幅跳水
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
: 基本确认验收失败了
原来炒股的
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 券商那边传过来的消息 导致半导体小幅跳水
先不说成没成，验收失败就是胡扯。
大概会失败，就不会送上去验收。
【 在 Inblue(随便吧) 的大作中提到: 】
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
: 基本确认验收失败了
验收怎么会失败
太搞笑了
按照中国传统，都到验收这一步了，各种戏码都是做足了的，绝对不可能失败
就像你们博士论文答辩一样，他妈的尽管全是胡说八道，下面也是说好妙的
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 券商那边传过来的消息 导致半导体小幅跳水
现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起码的常识要有吧
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: 原来炒股的
属实
一帮囼巴子，
你妈，党妈的验收哪有不胜利成功的？
【 在 coltzhao (MHY) 的大作中提到: 】
: 先不说成没成，验收失败就是胡扯。
: 大概会失败，就不会送上去验收。
:
: https://www.eet-china.com/mp/a90460.html
:
: 基本确认验收失败了
:
我早就说过
党妈的核心问题是光源物理
你妈，这根光学什么的毫无关系，是原子分子物理领域的内容
祖国在这方面，恰恰是一片空白
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起
: 码的常识要有吧
嗯 汉芯也成功验收了 党妈这点倒是可以放心 lol
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 属实
: 一帮囼巴子，
: 你妈，党妈的验收哪有不胜利成功的？
你说这帮孙子会不会直接拿个40瓦的小灯泡去糊弄党妈？
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 我早就说过
: 党妈的核心问题是光源物理
: 你妈，这根光学什么的毫无关系，是原子分子物理领域的内容
: 祖国在这方面，恰恰是一片空白
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起
: 码的常识要有吧
哪有博士论文写不出来，去要求参加答辩的
这得多自恋啊， 造氢弹原子弹的国家不懂原子分子。。。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 我早就说过
: 党妈的核心问题是光源物理
: 你妈，这根光学什么的毫无关系，是原子分子物理领域的内容
: 祖国在这方面，恰恰是一片空白
那你说说，为什么要用锡？而不用氙？
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这得多自恋啊， 造氢弹原子弹的国家不懂原子分子。。。
陈进 忘了？ 不过他确实也通过两院院士的验收了
【 在 midlander () 的大作中提到: 】
: 哪有博士论文写不出来，去要求参加答辩的
我只能说没组装前所有部件都弄好了。这是军事大本营没被封前上微内部人士透漏的。
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 现在光源问题没解决 你跟我说40瓦的光源怎么做28nm。最少要求65瓦以上。 这点最起
: 码的常识要有吧
这是被组内人爆料死掉的，当年验收哪有不成功的
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 陈进 忘了？ 不过他确实也通过两院院士的验收了
光源就是最重要的没组装前的部件。。。
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: 我只能说没组装前所有部件都弄好了。这是军事大本营没被封前上微内部人士透漏的。
说句良心话，
现在不知道为什么根本无所谓， 只要知道菜单就行了。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 那你说说，为什么要用锡？而不用氙？
你看你，又顾左右而言他了
我问你，为什么汽车的HID灯要用氙气？这个跟光刻euv光源是一个原理
你根本就是屁都不懂
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 说句良心话，
: 现在不知道为什么根本无所谓， 只要知道菜单就行了。
好像叫科益虹源。你自己放狗。
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 光源就是最重要的没组装前的部件。。。
我知道啊 北京的 我也知道它们家最大功率的ArF激光器40瓦 达不到ArFi的要求 这个问题没解决前 啥都是假的
【 在 foofy (不才) 的大作中提到: 】
: 好像叫科益虹源。你自己放狗。
已经不错了
至少以前美容业的准分子激光器都是日本进口的
现在满大街美容院的准分子激光器都是国产的了
算是党妈发展国产光刻机的第一个收获的副产品吧
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我知道啊 北京的 我也知道它们家最大功率的ArF激光器40瓦 达不到ArFi的要求 这个
: 问题没解决前 啥都是假的
我猜是在13.5nm附近的能量峰值（增益率）不够？
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你看你，又顾左右而言他了
: 我问你，为什么汽车的HID灯要用氙气？这个跟光刻euv光源是一个原理
: 你根本就是屁都不懂
做美容的当然不需要辣么高的功率啦 也不怕把脸给烧了 lol
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 已经不错了
: 至少以前美容业的准分子激光器都是日本进口的
: 现在满大街美容院的准分子激光器都是国产的了
: 算是党妈发展国产光刻机的第一个收获的副产品吧
我也不知道，所以我在问它啊
按照原子photoionization理论,应该用氙气，而不是锡，氙气的内层电子
photoionization截面要比锡大很多，但是羊大爷最后选了锡
所以很多细节都没人说出来
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我猜是在13.5nm附近的能量峰值不够？
我记得有个一级激光能量转换效率曲线 锡应该在13.5左右有比较高的效率 要不然euv
光能不够。我找找看
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 我也不知道，所以我在问它啊
: 按照原子photoionization理论,应该用氙气，而不是锡，氙气的内层电子
: photoionization截面要比锡大很多，但是羊大爷最后选了锡
: 所以很多细节都没人说出来
符合我鳖小步快跑的特性。
赞！
摩尔定律到头了，追赶十年美国一点办法没有。
既然能搞到40瓦，搞到60瓦就不会太难。
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我知道啊 北京的 我也知道它们家最大功率的ArF激光器40瓦 达不到ArFi的要求 这个
: 问题没解决前 啥都是假的
没有直接的答案
从图上看起来应该是锡辐射euv能量和CO2能量沉积区相近 有较高的能量转换效率。 而且本身的plasma密度高会带来更高的euv功率。 合理么
【 在 Inblue (随便吧) 的大作中提到: 】
: 我记得有个一级激光能量转换效率曲线 锡应该在13.5左右有比较高的效率 要不然
euv
: 光能不够。我找找看
搞了快十年了
【 在 Hangout (山顶洞人) 的大作中提到: 】
: 既然能搞到40瓦，搞到60瓦就不会太难。
这件事，还得再等等。。。
让子弹飞一阵。
个人倾向于，没这么容易成功。 睡前消息的督工也不是个笨蛋。当年也是少年班出身
。
这个就是光谱的问题， 二十多年前我就做了， 只不过懒得吹而已。
算这个东西， 我们原来研究的组就做类似的东西， 我不做，咋回事还是清楚一些的。
我第一个工作就是mercury xeon lamp。 供选择的基本是日本人的， 小日本很牛逼。 基本都是等离子体， 能级， 差不多以后还得做实验， 算是不大可能算出来的。
那些简单的就是arc lamp， 通过高电压电子轰击产生。
现在只不过是用激光。。
物理也就仅此而已。
工程上就是给一个环境， 然后做实验。 既然有了recipe，根本不是啥问题，
我都说了， 难不在光源， 对中国来说。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你看你，又顾左右而言他了
: 我问你，为什么汽车的HID灯要用氙气？这个跟光刻euv光源是一个原理
: 你根本就是屁都不懂
禁止进口DUV，禁止用台湾流片，禁止销售苹果电话。我保证三年内14nm完全国产。
要不是美帝禁止在航天上和中国合作，能由现在全面开花的结果吗？
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这个就是光谱的问题， 二十多年前我就做了， 只不过懒得吹而已。
: 算这个东西， 我们原来研究的组就做类似的东西， 我不做，咋回事还是清楚一些的。
: 我第一个工作就是mercury xeon lamp。 供选择的基本是日本人的， 小日本很牛逼
。
: 基本都是等离子体， 能级， 差不多以后还得做实验， 算是不大可能算出来的。
: 那些简单的就是arc lamp， 通过高电压电子轰击产生。
: 现在只不过是用激光。。
: 物理也就仅此而已。
: 工程上就是给一个环境， 然后做实验。 既然有了recipe，根本不是啥问题，
: 我都说了， 难不在光源， 对中国来说。
你只是用mercury xeon lamp测了下光谱而已
【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: 这个就是光谱的问题， 二十多年前我就做了， 只不过懒得吹而已。
: 算这个东西， 我们原来研究的组就做类似的东西， 我不做，咋回事还是清楚一些的。
: 我第一个工作就是mercury xeon lamp。 供选择的基本是日本人的， 小日本很牛逼
。
: 基本都是等离子体， 能级， 差不多以后还得做实验， 算是不大可能算出来的。
: 那些简单的就是arc lamp， 通过高电压电子轰击产生。
: 现在只不过是用激光。。
: 物理也就仅此而已。
: 工程上就是给一个环境， 然后做实验。 既然有了recipe，根本不是啥问题，
: 我都说了， 难不在光源， 对中国来说。
你觉得光源只是光谱， 不是radiance？
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你只是用mercury xeon lamp测了下光谱而已
: 。
: 。
你觉得光源只是光谱， 不是radiance？
我要做的是测量spectral radiance
还有温度和稳定性， 寿命。。。
你是不是只是纸上谈兵啊。
euv激光， 控制plasma， 需要一些简单的光压计算， 等等。
其实都不算难， 有了平台， 做实验大家都信服
还有高速摄影， 等等都是光学电子， 真跟物理没有多大关系 。。。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 你只是用mercury xeon lamp测了下光谱而已
: 。
: 。
就想知道，这个芯片大跃进，什么时候才能有结果啊？
上次大跃进，一两年就达到了亩产十万斤。
又查了一下，网上都是几个月之前的消息。我估计是自媒体博眼球瞎传
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 没有吧。马前卒前两天在睡前消息353上说了，2项目的前端光刻机没完成。
: 刚才去b站找了一下，被删除了。难道是真成了？
没有准信就是吹牛。
国家没有搞火箭的勇气，这样永远摆脱不了对进口的依赖
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 又查了一下，网上都是几个月之前的消息。我估计是自媒体博眼球瞎传
【 在 overlap (过火地) 的大作中提到: 】
: 又查了一下，网上都是几个月之前的消息。我估计是自媒体博眼球瞎传
几个月前的自媒体假消息我见一个怼一个，还没有怼错的。
目前科益虹源解决的光源并且小批产业化的是248nm的第三代光源。
https://kknews.cc/science/j3m2g96.html
193nm的第四代光源，还没有成熟产品出现（或者不对外公布）
-----
【通过以上技术突破，2020年4月，公司4kHz 40W KrF光刻准分子曝光光源实现了产品
定型，达到光刻机性能需求，一举打破了国外长期垄断，填补了国内准分子激光技术在高端光刻领域的空白。】
总结：2021年28nm光刻机仍然任重道远。
用锡那个是EUV。。。
这儿说的是DUV。。。
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 那你说说，为什么要用锡？而不用氙？
hwb&pgv_ref=hwb&appid=hwbrowser&ctype=news&ivk_sa=1023197a
说的就是EUV，为啥用锡做介质，而不是用Xe，耗子狗屁不通，以为就是做个实验而已
Xe的photoionization的截面：
【 在 coltzhao (MHY) 的大作中提到: 】
: 用锡那个是EUV。。。
: 这儿说的是DUV。。。
KrF只有40瓦很难理解
上海的那个激光核聚变装置天光一号也是用KrF驱动的，别说40瓦，40兆瓦都不止
【 在 tmbb2012 (tmbb2012) 的大作中提到: 】
: 目前科益虹源解决的光源并且小批产业化的是248nm的第三代光源。
: https://kknews.cc/science/j3m2g96.html
: 193nm的第四代光源，还没有成熟产品出现（或者不对外公布）
: -----
: 定型，达到光刻机性能需求，一举打破了国外长期垄断，填补了国内准分子激光技术在
: 高端光刻领域的空白。】
: https://i.ibb.co/6WB5Vqj/11-17-1.jpg
: 总结：2021年28nm光刻机仍然任重道远。
所以啊，
估计党妈真搞不定ArF激光
于是就搞了个自己熟门熟路的KrF激光来做光刻机光源
上海那个KrF天光一号搞了超过一个年代了，搞个小号的，驾轻就熟啊
所以什么Inblue说28nm光源只能做到40瓦，
我觉得不可信，天光一号40兆瓦都不止，搞个小号应该不难
我看到的消息说的是ArF 的功率做不上去
没人会用KrF做immersion的。 商业上不划算。
这次所谓28nm光刻机卖点就是immersion
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 所以啊，
: 估计党妈真搞不定ArF激光
: 于是就搞了个自己熟门熟路的KrF激光来做光刻机光源
: 上海那个KrF天光一号搞了超过一个年代了，搞个小号的，驾轻就熟啊
: 所以什么Inblue说28nm光源只能做到40瓦，
: 我觉得不可信，天光一号40兆瓦都不止，搞个小号应该不难