其实现在的蔡司光刻机镜头未必就好,有几个地方可以改

l
llcare
楼主 (未名空间)

比如有公开的四个mirror的设计,反射率可以达到每个百分之八十
比六个每个百分之五十高不少

而且系统还可以减掉一两个。。。效率可以提高很多倍。。。

超过荷兰德国人很容易。。

别担心
G
G99991

推完屁股,华为经理就给任正非报告你的新发现。
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llcare

可以把na降低
仪器做稍微小点

造价肯定低不少

100瓦完全干掉目前Asml的产品。

可惜土鳖国只知道偷

活该做不出来

【 在 G99991(99991) 的大作中提到: 】

: 推完屁股,华为经理就给任正非报告你的新发现。

G
G99991

所以你要好好推屁股,华为经理爽了,才有可能把你的发现报告给任正非。

【 在 llcare (剑华) 的大作中提到: 】
: 可以把na降低
: 仪器做稍微小点
: 造价肯定低不少
: 100瓦完全干掉目前Asml的产品。
: 可惜土鳖国只知道偷
: 活该做不出来
:
: 推完屁股,华为经理就给任正非报告你的新发现。
:

n
niuheliang

你说的六镜和四镜分别是什么结构?如双高斯?

没看明白反射率。透射率?

六镜镀膜行不行。你用四镜是不同的玻璃还是“非球面镜”。

【 在 llcare (剑华) 的大作中提到: 】
: 比如有公开的四个mirror的设计,反射率可以达到每个百分之八十
: 比六个每个百分之五十高不少
: 而且系统还可以减掉一两个。。。效率可以提高很多倍。。。
: 超过荷兰德国人很容易。。
: 别担心

f
furoci

耗子懂个屁的光学

它这是胡乱随口一说,说这些的目的是让你们觉得它懂行,

但是你要问它随便一个课本上的技术细节,丫立马不理你了

这招我试了无数次了,无一失败,耗子学胡锦涛真是学到了精髓。

【 在 niuheliang (别问我是谁) 的大作中提到: 】
: 你说的六镜和四镜分别是什么结构?如双高斯?
: 没看明白反射率。透射率?
: 六镜镀膜行不行。你用四镜是不同的玻璃还是“非球面镜”。

l
llcare

双高斯是透镜啊

你个mirror扯啥双高斯啊。。

吸收立马搞死euv 啊

上次是啥我都忘了你被大家灭了,我只是挑个头而已
今天你又来丢人了

【 在 niuheliang(别问我是谁) 的大作中提到: 】
<br>: 你说的六镜和四镜分别是什么结构?如双高斯?
<br>: 没看明白反射率。透射率?
<br>: 六镜镀膜行不行。你用四镜是不同的玻璃还是“非球面镜”。<br>

w
wadaxiwa

您说别担心是什么意思?

是不要担心什么?

【 在 llcare (剑华) 的大作中提到: 】
: 比如有公开的四个mirror的设计,反射率可以达到每个百分之八十
: 比六个每个百分之五十高不少
: 而且系统还可以减掉一两个。。。效率可以提高很多倍。。。
: 超过荷兰德国人很容易。。
: 别担心

l
llcare

别担心做不出来
实在不行
我回去几下就搞定了

【 在 wadaxiwa(囼巴canhelp!) 的大作中提到: 】

: 您说别担心是什么意思?

: 是不要担心什么?

s
sungo

你本来可以去张北搞个村办镜头厂,领着乡亲们奔小康。可是你就是爱美国不肯去。

【 在 llcare(剑华) 的大作中提到: 】

: 别担心做不出来

: 实在不行

: 我回去几下就搞定了

T
TheMatrix

好像是在说你自己。hoho

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 耗子懂个屁的光学
: 它这是胡乱随口一说,说这些的目的是让你们觉得它懂行,
: 但是你要问它随便一个课本上的技术细节,丫立马不理你了
: 这招我试了无数次了,无一失败,耗子学胡锦涛真是学到了精髓。

w
wadaxiwa

人才!

我平生最尊敬有才华的人,不论您能否建功立业,都不能抹杀您的才华!

【 在 llcare (剑华) 的大作中提到: 】
: 别担心做不出来
: 实在不行
: 我回去几下就搞定了
:
: 您说别担心是什么意思?
:
: 是不要担心什么?
:

s
sungo

那是,给美国人做事不拿出点真本事怎么行。

【 在 wadaxiwa(囼巴canhelp!) 的大作中提到: 】

: 人才!

: 我平生最尊敬有才华的人,不论您能否建功立业,都不能抹杀您的才华!

B
BigKings

x-ray光学都是一对,你减掉一个,究竟懂不懂?

【 在 llcare (剑华) 的大作中提到: 】
: 比如有公开的四个mirror的设计,反射率可以达到每个百分之八十
: 比六个每个百分之五十高不少
: 而且系统还可以减掉一两个。。。效率可以提高很多倍。。。
: 超过荷兰德国人很容易。。
: 别担心

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llcare

系统又不是只有成像。。。
还有照明。。。

【 在 BigKings(大爷他爹) 的大作中提到: 】

: x-ray光学都是一对,你减掉一个,究竟懂不懂?

T
TheMatrix

图挺漂亮。这是反射还是透射啊?

【 在 BigKings (大爷他爹) 的大作中提到: 】
: x-ray光学都是一对,你减掉一个,究竟懂不懂?

B
BigKings

人根本就不是成像,是均匀照明。你连basic的理论都不懂

X-rays_and_extreme_ultraviolet_radiation


【 在 llcare (剑华) 的大作中提到: 】
: 系统又不是只有成像。。。
: 还有照明。。。
:
: x-ray光学都是一对,你减掉一个,究竟懂不懂?
:

B
BigKings

透射x-ray光学等解耗子去写呢

【 在 TheMatrix (TheMatrix) 的大作中提到: 】
: 图挺漂亮。这是反射还是透射啊?

s
shot


你真的懂光刻机?
光刻机镜头,关键不是反射率多少。反射率多少很容易控制,只要改变镀膜的厚度就行了。
镜头的关键是镀膜的光洁度。要绝对均匀。蔡司公司的光学镜头之所以牛逼,就是因为比起它公司的镜头光洁度更高。这里的关键其实不是光学,而是材料学。
蔡司公司里面,能执行光刻机镜头镀膜的工程师,一共加起来也不超过20个人。

【 在 llcare (剑华) 的大作中提到: 】
: 比如有公开的四个mirror的设计,反射率可以达到每个百分之八十
: 比六个每个百分之五十高不少
: 而且系统还可以减掉一两个。。。效率可以提高很多倍。。。
: 超过荷兰德国人很容易。。
: 别担心

l
llcare

X ray光学我做过一点
靠扫描不同角度的反射来测量镀膜的精度
Roughness

有low angle和 high 测量
我熟悉的不仅仅是euv

大家随便上

这个在coating lab做研究需要

不是镀膜的行家就别糊弄我了

【 在 BigKings(大爷他爹) 的大作中提到: 】
<br>: x-ray光学都是一对,你减掉一个,究竟懂不懂?
<br>

l
llcare

反射率还是很难做到比较高的

大角度会高一些,

因为材料,吸收不会小的

【 在 shot(清泉石上) 的大作中提到: 】

: 你真的懂光刻机?

: 光刻机镜头,关键不是反射率多少。反射率多少很容易控制,只要改变镀膜的厚度就行

: 了。

: 镜头的关键是镀膜的光洁度。要绝对均匀。蔡司公司的光学镜头之所以牛逼,就是因为

: 比起它公司的镜头光洁度更高。这里的关键其实不是光学,而是材料学。

: 蔡司公司里面,能执行光刻机镜头镀膜的工程师,一共加起来也不超过20个人。

H
Hoegaarden

你说说啥镜子对EUV的反射率可以到80%的?