中国官宣:正式推广国产DUV光刻机:分辨率≤65nm; 套刻≤8nm

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B777
oats715 发表于 2024-09-14 12:40
半导体这个行业,先发优势是非常惊人的,想想中国做汽车多少年了,传统汽车一直半死不活,真正起来还是赶上了电动车这一波。
半导体行业的技术和资金壁垒,比汽车行业只多不少吧,市场嘛,有增量但是增量每年就那么点吧。如果维持之前的状态,至少在硅材料的器件上,中国是很难在这么短的时间之内赶上(我其实想说应该是根本赶不上,除非新的材料出来,但是想想还是保守点)。好嘛,现在是等于把整个中国市场让出来了,并且这个事是已知可以做出来的,以前不做是不赚钱不划算,现在有什么理由做不出来呢?

其实,现在传统燃油车,中国也追得很接近了。

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handylady
engine_us 发表于 2024-09-14 18:09
输不大可能,顶多平局。发现赢不了,随时可以调整策略。即使那样,可能还是中国的损失大些。

能展开讲讲吗
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B777
meftw 发表于 2024-09-14 13:13
现在就是做出来只落後幾年的duv光刻機啊。全世界除了荷蘭,可能也就只有日本和現在的中國能造。

日本,已经造不出来高端DUV,只有中端和低端的DUV。
就是荷兰 和 中国,能造中高端的DUV光刻机。 荷兰能造EUV,中国还在试制中。
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youyouzou
你妈厉害。。。
南开阿飞 发表于 2024-09-14 20:49

再厉害也厉害不过“科学的春天”,80年代被关门了。
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brama
https://www.youtube.com/watch?v=8q0JkBIRpfM&t=408s
看看这个油管上的讲解,我觉着比较靠谱,现在芯片卡脖子快到了互卡脖子的年代了
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B777
OldPineTree 发表于 2024-09-14 16:38
回复 128楼 的帖子
你这个意大利又加入了一带一路是从哪儿得来的?意大利是去年底脱离了一带一路,离开也就几个月,没听说又重新加入了。

一带一路,本来就不是约束性的组织。政治名义上的宣示更多。
意大利退出后,仅仅7个月,同一个意大利总理到北京,签了3年的经济合作框架。三年就是她剩下的任期。
西方媒体,都解释为:意大利又回到一带一路。
B
B777
Harenough 发表于 2024-09-14 17:24
不是你理解的一样。
Asml 离不开美国。某种意义,它是美国护持起来的。
美国有很多技术ASML需要用才能生产机器。

不是完全靠美国扶持。
更多是市场选择,是技术路线的选择押注上,ASML押对了。
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cloudymind
B777 发表于 2024-09-14 20:53
日本,已经造不出来高端DUV,只有中端和低端的DUV。
就是荷兰 和 中国,能造中高端的DUV光刻机。 荷兰能造EUV,中国还在试制中。

ASML不提,Canon做的是45nm,Nikon的DUV在14-28-45nm,
国产官宣首台65nm,尚不知其成本和良率
不知你说的只有荷兰和中国能造中高端的DUV是哪里来的?

丢丢爱吃瓜
dodgers 发表于 2024-09-14 07:31
不知道成本和质量。
当年大陆很早就生产出红旗牌汽车,但到1990年代,一直还在说无法生产汽车。因为质量和成本,消费者依然不买红旗牌。
能生产出和大家喜欢用,还是有区别的。

很有道理,能集国家之力造出来,和能量产到民用,是巨大的鸿沟。
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qy9527
Suiyuejinghai 发表于 2024-09-14 17:06
中国现在自己的债务危机都解决不了,还马歇尔计划?不是说中国人不行,而是不要尬吹…..

中国的债务危机主要是地方债过于庞大,地方债基本都是国内债。 国内债,现在是中央不愿意托底,想让地方先自己解决。 最后肯定还是中央托底,中央托底的底线基本就是地方债转成长期国债,长期国债基本上就是央行印钱。
七月份央行取消了人民币锚定政策,正式改为无锚印钞,可能就是为这个做准备了。
一定程度上来说,本币债不是可以影响到国家稳定和安全的债务,大不了就是印钱。
所以美国发国债从来都不会有什么太大的顾虑。
大不了就是印钱还债,而且国债利率那么低,每年通胀都比利率高,理论上来说,政府甚至可以通过发国债赚“利差”。
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qy9527
Suiyuejinghai 发表于 2024-09-14 19:25
中央不缺钱??因为可以印钱??外汇还剩多少??做出了东西值得高兴,但真的不要尬吹

一个国家的本币在国际上通行程度越强,所谓外汇的重要性就越低。 一带一路不断的扩张,就是在推动中国与他们之间的贸易用人民币结算。 最近的中非那个会,说中国要支持非洲3600亿人民币,第一次出现人民币的计量单位。
如果是人民币,这东西又没有锚定物,对央行来说就是纸。
你见过美国说外汇储备这个词吗?美联储就是它最大的外汇储备。
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alama
yshe 发表于 2024-09-14 19:45
同意。 搞笑的很。 美国的资本家对美国,都不如版上的id忠诚。 要是像那些id, 美国的起重机都该是美国/欧洲产的啊。

那是,要不美国钢铁也不会破产,现在日本想买,资本家谢天谢地,结果政治家被绑架,脸上挂不住,扭扭捏捏签不了合同
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alama
handylady 发表于 2024-09-14 20:37
我唯一的一点担忧就是中国在输出技术产能的时候还是得保护好自己的核心技术,别自己玩命内卷突破的东西最后慷慨了他人

那的智商,低端能接得住就谢天谢地了
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The13thWarrior
lulule 发表于 2024-09-14 19:45
现在就不带着你卷了,还看出来么? 电动车不就是么。没人带着你卷了啊。

电动车这种东西,你不带着别人卷是自欺欺人。最多关起门来卖几倍的价格坑自己人民,一如中国90年代,一辆车卖一栋楼的价格。出了国门,谁也不会卖你账,盟友的老百姓也要买便宜好用的电车。典型的比如泰国汽车市场,被中国电车卷成什么样了,以前是日系车一统天下,现在中国电车在前10已经占了一半,还只是个开头。
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Behappy2023
adorp 发表于 2024-09-14 16:15
从此ASML的DUV一台都卖不出去了,因为只有中国能买得起也原意买。而它的EUV则不被败蹬允许卖,事实上据业内可靠消息国产的EUV已在试验的最后阶段了,估计明年下半年,最迟2026年初正式量产!
因为只要中国人掌握了某项技术,下一步就是将其白菜价

有道理。 不过还是想说;其实现在白菜也挺贵的😅
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Behappy2023
whitein 发表于 2024-09-14 17:11
问题就在这里:美国历史太短,没有经历过兴衰,自己领先了几年,就以为可以永远领先,并以为这是理所当然的事。实际上,哪有永远的领先?上一个垮掉的苏联,离现在并不久。再往前,衰落的不是大英帝国吗?所有的强国都会衰落甚至垮掉,但是美国的政客和很多人不明白,也根本不愿意接受,但现实会教给他们一切。
当然,高等华人们会继续挣扎,撒泼打滚,否则,优越感没了,在国内的亲戚朋友面前多没面子呀!辛辛苦苦跑到国外,居然是这个结果,这让高华们情何以堪?

前面写的非常赞同,后面那段就有点以小人之心度君子之腹了😂
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Dingmoren2
作为外行,最初以为芯片禁售,中国工业要停摆,倒退20年。现在看高估了美国能力,低估了中国韧性。
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minqidev
Dingmoren2 发表于 2024-09-15 01:18
作为外行,最初以为芯片禁售,中国工业要停摆,倒退20年。现在看高估了美国能力,低估了中国韧性。

去看看几年前开始制裁华为,整个论坛那种弹冠相庆的氛围,都以为,华为不出半年就要完全破产了,因为做不出芯片,整个公司就不能运转了。
青蓝冰水
是突破了28nm光刻机,多重曝光后才能达到8nm工艺的意思吧
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Dingmoren2
minqidev 发表于 2024-09-15 01:24
去看看几年前开始制裁华为,整个论坛那种弹冠相庆的氛围,都以为,华为不出半年就要完全破产了,因为做不出芯片,整个公司就不能运转了。

当年以为华为要倒闭的肯定不在少数,毕竟芯片在大众的认识是高不可攀,集全世界之尖端。涉及千千万万的零件,耗材中国都是空白,岂是中国一国能搞定的。现在有了第一代光刻机,本国有巨大市场需求支持,后面只是迭代,应该进步更快了。
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Kirin9000s
去看看几年前开始制裁华为,整个论坛那种弹冠相庆的氛围,都以为,华为不出半年就要完全破产了,因为做不出芯片,整个公司就不能运转了。

minqidev 发表于 2024-09-15 01:24

reference: https://huaren.us/showtopic.html?topicid=2525085&fid=398

不知道这篇帖子里面最高赞的几位还在版上吗
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Namama
Dingmoren2 发表于 2024-09-15 01:52
当年以为华为要倒闭的肯定不在少数,毕竟芯片在大众的认识是高不可攀,集全世界之尖端。涉及千千万万的零件,耗材中国都是空白,岂是中国一国能搞定的。现在有了第一代光刻机,本国有巨大市场需求支持,后面只是迭代,应该进步更快了。

这甚至都不是以为华为是否会倒闭的问题,而是这里很多人看到美国制裁华为的那种幸灾乐祸,那种开心的劲头,实在是让人恶心
也不仅仅是华为,当初川普发动贸易战更是一堆人在那里狂欢
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Dingmoren2
贸易战刚开始的时候,川普重拳出击,土工开始有点认怂,川普再加码,基本是当年狂欢的顶点。
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minqidev
回复 215楼 的帖子
这就是信息差,其实真实情况是除了EUV和高端DUV,其他所有东西国内都有,或者接近有。
韩国两年前被日本制裁所有芯片原材料,里面就有光刻胶和相关原材料,韩国的做法是从中国进口纯度较低的原材料然后提纯。
虽然是笑话,但现实就是,以为被卡脖子,结果发现毛衣穿反了。
今天这个消息最震撼的是,这个量产光刻机按道理就是华为刚被制裁时,2018年坊间传闻的一款demo机,也就是65nm,多重曝光能做28nm。
现在披露的是量产机(可以卖给芯片厂商的光刻机),也就是说,这个机器其实已经用了好几年了,能够给华为7nm供货的机器应该就是这台机器之后的下一代机器,而且去年9月份就开始批量生产芯片了。
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hoxu
雷蒙多又要生气了
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handylady
Kirin9000s 发表于 2024-09-15 01:55
reference: https://huaren.us/showtopic.html?topicid=2525085&fid=398

不知道这篇帖子里面最高赞的几位还在版上吗

哈哈哈,第一个还在
理查德
有明白人解释一下套刻是什么意思吗
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butterflyfall
理查德 发表于 2024-09-15 04:09
有明白人解释一下套刻是什么意思吗

套刻是overlay的翻译,光刻第二层图案,需要和第一层已有的图案对齐,这个误差就是overlay
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ajanny
hoxu 发表于 2024-09-15 03:59
雷蒙多又要生气了

雷蒙多:累觉不爱。
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ajanny
lulule 发表于 2024-09-14 19:48
小弟弟搞的公务员都快要饭了。睁开眼看看吧,别尬吹了。

嗯。大哥哥政府都破产停摆好几次了呢。
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minqidev
有明白人解释一下套刻是什么意思吗
理查德 发表于 2024-09-15 04:09

你可以想象你有一个木条,有两个钉子,每两个钉子的距离是65nm. 你先用木条在纸上打两个洞,然后把这个木条移动32.5nm, 因为你的手抖,或者尺子的误差, 能造成移动的不是32.5nm,那个误差就是8nm. 然后在网纸上打孔,这就是多重曝光。 为什么误差是8nm,8nm有什么含义? 你稍微口算一下就知道, 32.5 - 4 = 28nm, 其实那里面暗示某人,最终可以实现28nm, 这里某人大家也知道是大漂亮.. 你厉害的话,可以再移动一次,但是下次移动就是 32.5/2 = 16.25nm, 行不行,行,那就要做到,移动误差小于2nm了,毕竟留给你的空间也不多了。鉴于华为能出7nm芯片,说明,有某个大神,能让移动的误差小于1nm,这就需要机械和自动化高超控制水平,大家感兴趣的话,可以去查查,有不有一个某明奇妙的大学,看上去不强,却被美国制裁了,这个学校还要出国的人少(消息不容易暴漏),最好没有女同学(容易单身老实做事,容易保密)。
你肯定也问,不是还有很多空白吗?没那么简单,其实一个芯片,是很多层的,最上面一层是65nm, 第二层是32.5,以此类推。 所以即使是65nm多重曝光实现28nm都不容易。。










一尼逆
回复 225楼 ajanny 的帖子
大哥哥早就一直处于破产状态没出来, 唯一区别是每次提高债务上限, 自欺欺人没在新的债务上限下破产, 照这种操作, 大哥哥永远没破产
一尼逆
回复 226楼 的帖子
为什么移动一半距离, 4 又是何意, 图中65, 32.5距离符合scale, 4就差太远啦
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minqidev
回复 226楼 的帖子
为什么移动一半距离, 4 又是何意, 图中65, 32.5距离符合scale, 4就差太远啦
一尼逆 发表于 2024-09-15 05:07

左右4nm就8nm一半, 移动32.5nm,是你能给下层的芯片最大的空间。

一尼逆
回复 229楼 minqidev 的帖子
谢谢
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minqidev
回复 229楼 minqidev 的帖子
谢谢
一尼逆 发表于 2024-09-15 05:10

65nm 是最上面的曝光层,其实下层还有曝光的。 整个芯片,是好多纸组成的,你每次钉钉子,还不能和下层纸的钉子位置重合
一尼逆
是西北工大吗, 最近好像被美国骇客打进去过
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meftw
Kirin9000s 发表于 2024-09-15 01:55
reference: https://huaren.us/showtopic.html?topicid=2525085&fid=398

不知道这篇帖子里面最高赞的几位还在版上吗

又去复习了这个帖子,那些高华的嘴脸太恶心了。天天在白爹面前操着蹩脚的英语骂中国,然后私底下扣扣索索找deal买中国产品的老将形象跃然纸上。
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joyce612
The13thWarrior 发表于 2024-09-14 22:10
电动车这种东西,你不带着别人卷是自欺欺人。最多关起门来卖几倍的价格坑自己人民,一如中国90年代,一辆车卖一栋楼的价格。出了国门,谁也不会卖你账,盟友的老百姓也要买便宜好用的电车。典型的比如泰国汽车市场,被中国电车卷成什么样了,以前是日系车一统天下,现在中国电车在前10已经占了一半,还只是个开头。

国内电动车现在便宜的如大白菜 国外的才贵的要死
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task_g
回复 193楼 ca563 的帖子
澳大利亚全面放开。。。
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task_g
回复 212楼 Dingmoren2 的帖子
19年国内那些厂家是很难过的,突然没芯片和有的芯片涨价很高,只能换国产芯片,故障率一度达到20%,但是国产芯片迭代很快,都是芯片工程师驻场解决,基本半年时间就回到正常水平,这种机会以前没有。就是现在倾销芯片,都没什么用。
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meftw
task_g 发表于 2024-09-15 08:20
回复 212楼 Dingmoren2 的帖子
19年国内那些厂家是很难过的,突然没芯片和有的芯片涨价很高,只能换国产芯片,故障率一度达到20%,但是国产芯片迭代很快,都是芯片工程师驻场解决,基本半年时间就回到正常水平,这种机会以前没有。就是现在倾销芯片,都没什么用。

不只国内,后来国外也闹过一段时间芯片荒直接导致车价上涨车子缺货,好久才解决
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task_g
回复 234楼 joyce612 的帖子
国外的基本是贵一倍。
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wswsn
套刻不是光刻分辨率
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eda2k4
joyce612 发表于 2024-09-15 07:57
国内电动车现在便宜的如大白菜 国外的才贵的要死

他说的就是米国电车关起门来搞,所以死贵
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eda2k4
meftw 发表于 2024-09-15 08:24
不只国内,后来国外也闹过一段时间芯片荒直接导致车价上涨车子缺货,好久才解决

所以19年那一波芯片荒的主因不是制裁中国
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wlf
光刻机落后15-20年,不理解那么多人不能接受一个现实,yy的厉害,还觉得真的以后会慢慢提高,弓箭和火箭差别是无法慢慢提高的,只有认识到差距才能进 https://mp.weixin.qq.com/s/B3Vu7ZlRbcmwx65cShTvlQ
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Dingmoren2
回复 242楼 wlf 的帖子
落后是必然的,但是迈出第一步,才有迭代进步的可能。
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cloudymind
minqidev 发表于 2024-09-15 02:07
回复 215楼 的帖子
这就是信息差,其实真实情况是除了EUV和高端DUV,其他所有东西国内都有,或者接近有。
韩国两年前被日本制裁所有芯片原材料,里面就有光刻胶和相关原材料,韩国的做法是从中国进口纯度较低的原材料然后提纯。
虽然是笑话,但现实就是,以为被卡脖子,结果发现毛衣穿反了。
今天这个消息最震撼的是,这个量产光刻机按道理就是华为刚被制裁时,2018年坊间传闻的一款demo机,也就是65nm,多重曝光能做28nm。
现在披露的是量产机(可以卖给芯片厂商的光刻机),也就是说,这个机器其实已经用了好几年了,能够给华为7nm供货的机器应该就是这台机器之后的下一代机器,而且去年9月份就开始批量生产芯片了。

太多错误和推测(“按道理”,“应该就是“)。
官宣的干式光刻机,做不出28nm。
华为在被制裁情况下,不计代价提高工艺到极致,也没证据说是国产光刻机做的。
西
西北飘雪
光刻机落后15-20年,不理解那么多人不能接受一个现实,yy的厉害,还觉得真的以后会慢慢提高,弓箭和火箭差别是无法慢慢提高的,只有认识到差距才能进 https://mp.weixin.qq.com/s/B3Vu7ZlRbcmwx65cShTvlQ
wlf 发表于 2024-09-15 09:43

一百年前荷兰也没有光刻机。美国也没有核弹。不知道都咋来的? 很多人觉得“只要我没听说过的,或者没经历过的都不可能”。 我的看法是“只要在我认知范围之外的东西,都有可能“
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brama
wlf 发表于 2024-09-15 09:43
光刻机落后15-20年,不理解那么多人不能接受一个现实,yy的厉害,还觉得真的以后会慢慢提高,弓箭和火箭差别是无法慢慢提高的,只有认识到差距才能进 https://mp.weixin.qq.com/s/B3Vu7ZlRbcmwx65cShTvlQ

即使落后个15-20年也不丢人的,反正中国人的勤奋可以把这10-15年的差距压缩到8-10年追赶上,谁也不是生下来就先进的,何况光刻机大原理人人都知道了,剩下的就是工程问题,不知道为什么永远赶不上?这个逻辑不是弓箭和火箭的区别吧,你这个比喻真看不出逻辑的所在,你要说差距是吉利和兰博基尼的差距还有一定的道理,但是你却选择了一个弓箭和火箭的比喻
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XuYanLu25
新中国的科技和工业制造的底子 可以用千疮百孔来形容。一个千年的农业大国,完全没有赶上工业革命,起点太低了。我小时候经常听到父母说要攻克什么科技难题,困难重重,因为整体的工业制造体系跟不上。就连现在小朋友没怎么见过的彩色胶卷,当年都是国家级的科研项目,涂布工艺不过关,和国外差别太大。我不懂芯片,也不知道要3年,5年 还是10年 或更长的时间 才能赶上, 但我相信中国的成千上万的科学家和工程师,他们的勤勉和奋斗,有目共睹。
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eda2k4
cloudymind 发表于 2024-09-15 10:11
太多错误和推测(“按道理”,“应该就是“)。
官宣的干式光刻机,做不出28nm。
华为在被制裁情况下,不计代价提高工艺到极致,也没证据说是国产光刻机做的。

是,那个id基本都是鸡血文,还是信心满满的打鸡血
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eda2k4
brama 发表于 2024-09-15 10:43
即使落后个15-20年也不丢人的,反正中国人的勤奋可以把这10-15年的差距压缩到8-10年追赶上,谁也不是生下来就先进的,何况光刻机大原理人人都知道了,剩下的就是工程问题,不知道为什么永远赶不上?这个逻辑不是弓箭和火箭的区别吧,你这个比喻真看不出逻辑的所在,你要说差距是吉利和兰博基尼的差距还有一定的道理,但是你却选择了一个弓箭和火箭的比喻

往前看15-20年,后面追快得多。而且有大市场给你反馈就错,钱也不是问题。反过来asml钱就是问题了,至少少了全世界最大的市场
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gokgs
minqidev 发表于 2024-09-15 02:07
回复 215楼 的帖子
这就是信息差,其实真实情况是除了EUV和高端DUV,其他所有东西国内都有,或者接近有。
韩国两年前被日本制裁所有芯片原材料,里面就有光刻胶和相关原材料,韩国的做法是从中国进口纯度较低的原材料然后提纯。
虽然是笑话,但现实就是,以为被卡脖子,结果发现毛衣穿反了。
今天这个消息最震撼的是,这个量产光刻机按道理就是华为刚被制裁时,2018年坊间传闻的一款demo机,也就是65nm,多重曝光能做28nm。
现在披露的是量产机(可以卖给芯片厂商的光刻机),也就是说,这个机器其实已经用了好几年了,能够给华为7nm供货的机器应该就是这台机器之后的下一代机器,而且去年9月份就开始批量生产芯片了。

顶! 好多人说是这样的。 EUV 试验机应该已经有了, 确实牛逼。
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gokgs
minqidev 发表于 2024-09-15 04:54
你可以想象你有一个木条,有两个钉子,每两个钉子的距离是65nm. 你先用木条在纸上打两个洞,然后把这个木条移动32.5nm, 因为你的手抖,或者尺子的误差, 能造成移动的不是32.5nm,那个误差就是8nm. 然后在网纸上打孔,这就是多重曝光。 为什么误差是8nm,8nm有什么含义? 你稍微口算一下就知道, 32.5 - 4 = 28nm, 其实那里面暗示某人,最终可以实现28nm, 这里某人大家也知道是大漂亮.. 你厉害的话,可以再移动一次,但是下次移动就是 32.5/2 = 16.25nm, 行不行,行,那就要做到,移动误差小于2nm了,毕竟留给你的空间也不多了。鉴于华为能出7nm芯片,说明,有某个大神,能让移动的误差小于1nm,这就需要机械和自动化高超控制水平,大家感兴趣的话,可以去查查,有不有一个某明奇妙的大学,看上去不强,却被美国制裁了,这个学校还要出国的人少(消息不容易暴漏),最好没有女同学(容易单身老实做事,容易保密)。
你肯定也问,不是还有很多空白吗?没那么简单,其实一个芯片,是很多层的,最上面一层是65nm, 第二层是32.5,以此类推。 所以即使是65nm多重曝光实现28nm都不容易。。











厉害, 我也不懂, 你的解释好像是对的, 哈哈。
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Dingmoren2
观察过去三十年中国工业,就是快速迭代,再碾压竞争对手的历史。现在芯片制造设备行业还有一个先天优势,造出就有极大市场,不愁没客户,不愁客户不给试错机会。
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minqidev
eda2k4 发表于 2024-09-15 10:57
是,那个id基本都是鸡血文,还是信心满满的打鸡血

哪里鸡血了,65nm, 多重曝光到28nm,都是别人15-20年前得技术啊。 万事开头难,这是突破了0而已。 难道非要说这个0没有被突破。
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meftw
gokgs 发表于 2024-09-15 11:05
顶! 好多人说是这样的。 EUV 试验机应该已经有了, 确实牛逼。

EUV两个技术难点,一个是光源,一个是反射镜,中国应该研究很久了
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blushpeony
确实是0的突破 科技虽然不是领先的 但是意义重大
的确这次突破可以取代asml的duv了,同样现有的成熟多重曝光的技术下理论上可以做到7纳米。而且这只是个开始,以后应该会有更多的突破。
根据最新的信息,上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)的8纳米氟化氩光刻机,其光源波长为193纳米,能够实现的分辨率小于或等于65nm,套刻精度小于或等于8nm。这种光刻机主要应用于制造7纳米及以上工艺节点的芯片。这意味着,理论上SMEE的8纳米氟化氩光刻机能够制造7纳米或更粗略工艺节点的芯片,但可能需要通过多重曝光技术来实现更精细的工艺节点,如7纳米或更小的特征尺寸。 需要注意的是,光刻机的实际制造能力还受到其他多种因素的影响,包括光刻胶、工艺流程、光学系统的性能等。此外,随着半导体制造技术的发展,即使是使用DUV(深紫外线)光刻机,通过先进的工艺技术,也有可能实现更小节点的芯片制造。例如,台积电就曾使用DUV光刻技术实现了7纳米工艺的芯片制造。 因此,SMEE的8纳米氟化氩光刻机在当前技术水平下,能够支持7纳米及以上工艺节点的芯片制造,但具体能够制造多小工艺节点的芯片,还需要结合实际的工艺技术和生产条件来确定。
c
cloudymind
的确这次突破可以取代asml的duv了,同样现有的成熟多重曝光的技术下理论上可以做到7纳米。而且这只是个开始,以后应该会有更多的突破。
根据最新的信息,上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)的8纳米氟化氩光刻机,其光源波长为193纳米,能够实现的分辨率小于或等于65nm,套刻精度小于或等于8nm。这种光刻机主要应用于制造7纳米及以上工艺节点的芯片。这意味着,理论上SMEE的8纳米氟化氩光刻机能够制造7纳米或更粗略工艺节点的芯片,但可能需要通过多重曝光技术来实现更精细的工艺节点,如7纳米或更小的特征尺寸。 需要注意的是,光刻机的实际制造能力还受到其他多种因素的影响,包括光刻胶、工艺流程、光学系统的性能等。此外,随着半导体制造技术的发展,即使是使用DUV(深紫外线)光刻机,通过先进的工艺技术,也有可能实现更小节点的芯片制造。例如,台积电就曾使用DUV光刻技术实现了7纳米工艺的芯片制造。 因此,SMEE的8纳米氟化氩光刻机在当前技术水平下,能够支持7纳米及以上工艺节点的芯片制造,但具体能够制造多小工艺节点的芯片,还需要结合实际的工艺技术和生产条件来确定。

睿 发表于 2024-09-15 12:28

已经科普过几次了。
这次官宣是65nm的 dry lithography machine,连28nm都做不出来,就别说7nm了。
能做28以及多重曝光14-7nm的只有immersion lithography才成功过,但是由于成本高效率低,就像手工艺人对比流水线生产,没有经济效益所以极少有人继续再这么做14/7,唯有华为被逼到了绝路,把工艺做到极限并且有钱可以不计成本地做,没有证据支持它用的是国产光刻机达到这一步。
但工艺再先进,都无法跟更好的技术相抗,芯片生产的成本的一个关键数据是Throughput,如果单次曝光1秒一次,多次曝光需要的时间长的多,它的成本就会10倍20倍的增加,所以台积电不到一年就放弃了这个工艺。
另外,业内不存在什么8nm 氟化氩光刻机的说法。
h
hoxu
技术路线应该都是这样的吧。
肯定做不出,崩了 => 做出来也没用 => 可以用,但不经济 => 自己关起门来嗨, 无法出口 => 产能过剩,请减产
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gvcc
中美目前的竞争类似两个参加跑步比赛的选手,其中一个看到另一个快从自己身旁超过去了。正确的做法是自己发力,凭实力保持优势。而美国的做法是阻挡,脚下使绊子,拉扯对手,或让场外小弟干扰对手。这种做法可以成功几次,但不会一直成功,因为对手的实力一直再变强。自己不奋发图强,靠盘外招是不可持续的。
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cs5560
睿 发表于 2024-09-15 12:28
的确这次突破可以取代asml的duv了,同样现有的成熟多重曝光的技术下理论上可以做到7纳米。而且这只是个开始,以后应该会有更多的突破。
根据最新的信息,上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)的8纳米氟化氩光刻机,其光源波长为193纳米,能够实现的分辨率小于或等于65nm,套刻精度小于或等于8nm。这种光刻机主要应用于制造7纳米及以上工艺节点的芯片。这意味着,理论上SMEE的8纳米氟化氩光刻机能够制造7纳米或更粗略工艺节点的芯片,但可能需要通过多重曝光技术来实现更精细的工艺节点,如7纳米或更小的特征尺寸。 需要注意的是,光刻机的实际制造能力还受到其他多种因素的影响,包括光刻胶、工艺流程、光学系统的性能等。此外,随着半导体制造技术的发展,即使是使用DUV(深紫外线)光刻机,通过先进的工艺技术,也有可能实现更小节点的芯片制造。例如,台积电就曾使用DUV光刻技术实现了7纳米工艺的芯片制造。 因此,SMEE的8纳米氟化氩光刻机在当前技术水平下,能够支持7纳米及以上工艺节点的芯片制造,但具体能够制造多小工艺节点的芯片,还需要结合实际的工艺技术和生产条件来确定。

这是干式的193nm,连40nm的工艺都不能完全支持(40nm有几个关键layers需要193nm湿法)
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hnlimlu
hoxu 发表于 2024-09-15 13:52
技术路线应该都是这样的吧。
肯定做不出,崩了 => 做出来也没用 => 可以用,但不经济 => 自己关起门来嗨, 无法出口 => 产能过剩,请减产

已经进入官宣推广阶段了,说明技术上已经成熟并可以量产了,这没啥可说道的了。这现实都不愿意面对,只能是鸵鸟了。
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minqidev
回复 260楼 的帖子
外行就不要乱猜了,这里的195nm是波长,和精度不是划等号的😑,你说的东西离了大谱了。还有45nm的限制,是厂家的限制。 相当于电动摩托车,中国的电动摩托车的表显示只有30km/hr, 但是改改电路,超过30km/hr之后,可能显示都没了,但是还是可以加速的。


这是干式的193nm,连40nm的工艺都不能完全支持(40nm有几个关键layers需要193nm湿法)
cs5560 发表于 2024-09-15 14:05

谢谢纠正,看来我引用的那片文章的确有错误。看了一下其他文章:
对于国产光刻机厂商来说,从干式DUV转向浸没式DUV这一过程还是存在很多技术难题需要解决的。
总结来说,这次曝光的65nm分辨率的国产DUV光刻机,应该只是之前的90nm分辨率的国产光刻机的改良版,还只能用于55-65nm的成熟制程芯片制造需求,还远达不到大家期望的制造28nm制程芯片的要求。
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minqidev
谢谢纠正,看来我引用的那片文章的确有错误。看了一下其他文章:
对于国产光刻机厂商来说,从干式DUV转向浸没式DUV这一过程还是存在很多技术难题需要解决的。
总结来说,这次曝光的65nm分辨率的国产DUV光刻机,应该只是之前的90nm分辨率的国产光刻机的改良版,还只能用于55-65nm的成熟制程芯片制造需求,还远达不到大家期望的制造28nm制程芯片的要求。
睿 发表于 2024-09-15 14:25

其实是,"目前市面上的类似指标干式光刻机,极限是45nm". 而且还要把套刻8nm的误差,想象成实际的拥有50%的误差达到12nm,才不能多重曝光(为什么这么认为,因为十几年前实现不了多重曝光,但讽刺的是,华为的芯片拆机后就是多重曝光,说明这个假设是不成立的), 而且这里的极限是厂家的极限,厂家并不善于做位移,这就需要自己用硬件和软件实现位移。 如果都按照市面上的极限,那么华为已经破产了,因为厂家说不能改。
那个8nm就是,多次曝光后,位移后的误差。并不是,芯片的分辨率。
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weiyixia
现在的7nm一般就是分辨率14nm做的, 重复曝光可以做5nm. 65nm分辨率的可以 做28nm 。
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hnlimlu
weiyixia 发表于 2024-09-15 14:52
现在的7nm一般就是分辨率14nm做的, 重复曝光可以做5nm. 65nm分辨率的可以 做28nm 。

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hnlimlu
这个更猛?
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whitein
Behappy2023 发表于 2024-09-15 01:04
前面写的非常赞同,后面那段就有点以小人之心度君子之腹了😂

呵呵,我只是描述一下高华门猥琐阴暗的内心,否则,何以解释他们对自己母国的如此的恨?他们本以为出了国,就成了人上人,谁知道竟会是这个样子。
我不禁想起多年前的一件事,当时尚在国内,某日网上闲逛,看到某大妈发帖说好不容易从联想跳槽到IBM,本以为从此做了外企人,进入新天地,不料万恶的联想竟然收购了IBM的笔记本电脑业务,连带着大妈也丧失了外企人的高级身份。大妈说收拾东西的时候不禁潸然泪下。(记不起为何收拾东西了)
高华们跟上面那位大妈是一个心态。不同的是,大妈如果继续待在联想,可以分享联想业务发展的红利,至少可以分几年吧。而高华们呢,面对国内哪怕一点点的进步,除了谩骂、挖苦、说风凉话,什么也落不着,只能抱团取暖,维护那一点可怜的自以为是的优越感。
叔虽身处国外,但对于国内的发展和进步都是发自内心的高兴,所以,叔对于高华们那种扭曲的优越感很不以为然,忍不住就想骂几句。
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gqsds
hnlimlu 发表于 2024-09-15 15:53
这个更猛?

CN202310226636.7
在下述专利网站上目前都无法查到: 中国专利局:http://epub.cnipa.gov.cn/ 谷歌专利:https://patents.google.com/ 美国专利局:https://www.uspto.gov/patents/search 欧洲专利局:https://www.epo.org/en
下面这个网站上有部分中文摘要(无法核实真假): https://www.icsmart.cn/82673/
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hnlimlu
gqsds 发表于 2024-09-15 16:39
CN202310226636.7
在下述专利网站上目前都无法查到: 中国专利局:http://epub.cnipa.gov.cn/ 谷歌专利:https://patents.google.com/ 美国专利局:https://www.uspto.gov/patents/search 欧洲专利局:https://www.epo.org/en
下面这个网站上有部分中文摘要(无法核实真假): https://www.icsmart.cn/82673/

一看你就没申请过专利。 专利申请公开日期又不是批准日期,两回事! 正在申请中的专利,查不到很正常。
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gqsds
hnlimlu 发表于 2024-09-15 16:42
一看你就没申请过专利。 专利申请公开日期又不是批准日期,两回事! 正在申请中的专利,查不到很正常。


不是这样开脱的吧?
不阅读专利原文而发布专业评论 显得 不专业呢
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adorp
B777 发表于 2024-09-14 20:53
日本,已经造不出来高端DUV,只有中端和低端的DUV。
就是荷兰 和 中国,能造中高端的DUV光刻机。 荷兰能造EUV,中国还在试制中。

正确!
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adorp
中美目前的竞争类似两个参加跑步比赛的选手,其中一个看到另一个快从自己身旁超过去了。正确的做法是自己发力,凭实力保持优势。而美国的做法是阻挡,脚下使绊子,拉扯对手,或让场外小弟干扰对手。这种做法可以成功几次,但不会一直成功,因为对手的实力一直再变强。自己不奋发图强,靠盘外招是不可持续的。

gvcc 发表于 2024-09-15 14:00

中美竞赛就是龟兔赛跑,结局如何大家都了然于胸!更何况现在美国这个兔子的现状:“非法移民遍地飞,DEI,同性恋、变性人、黑命贵、零元购,毒品泛滥、政治挂帅和政治正确,去工业化了,制造业只剩了个瘸腿的军工、不学无术、好吹牛逼的烙印在美国横行霸道、犹如赵高指鹿为马”。哈哈哈
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nutrilite
adorp 发表于 2024-09-16 05:14
中美竞赛就是龟兔赛跑,结局如何大家都了然于胸!更何况现在美国这个兔子的现状:“非法移民遍地飞,DEI,同性恋、变性人、黑命贵、零元购,毒品泛滥、政治挂帅和政治正确,去工业化了,制造业只剩了个瘸腿的军工、不学无术、好吹牛逼的烙印在美国横行霸道、犹如赵高指鹿为马”。哈哈哈

兔子睡着了也没使坏干扰乌龟啊