大过年的给大家普及一下如何做EUV光刻机, 国内的听好了。。

h
hhcare
楼主 (未名空间)

EUV光刻机看起来啥都难,光源, STEPPER/Projector, 照明系统, stages, FRAMEs都不容易。。 因为需要精确, 功率大, 重, 温差, 污染, 等等。。

但是做起来不难。 比如温度吧, 就是控制, 加上材料,污染吧, 就是如何减小,
只要有一台慢慢摸索都不难。。 难就难在光源和projector系统。

projector, 现在是0.33, 很大很重。 将来的0.5更大更重, 所以简单点摸索阶段做0.2的就可以了, 熟悉的都知道是NA, 小一下啥都容易了. 应该四个mirro设计就可以
了。

光源其实国内挖回去人不少, 不难。 只要不是找骗子就行了, 就是laser produced plasma, 需要的是控制, 功率。。 当然还有很多可以优化的地方。。

做光刻机需要很多很多人。 目前不是要追上外国。 而是把台子搭起来, 弄几个桶都
行, 大家摆弄一下, 管道, 真空, 想一想。。 真心不难, 需要的是情怀, 想把
它做好就行了。 国内所谓的挖人不行, 得靠人多, 给人家前途, 才会有希望。 挖
几个大牛顶屁用。。 得要敢动手的。

至于精确控制方面找日本比较合适,欧洲人都不会帮中国人的。 一衣带水。。

S
Scolari

你说不难,如果没有图纸哪个做下来不要好几年
w
wadaxiwa

厉害!

国士无双

请五毛立刻把这个帖子上报中央
p
pty5

有了图纸也不行,哪有那么容易的

比如苏联60年代无偿提供涡喷全套图纸全套工艺装备,到90年代都没搞明白

【 在 Scolari (Scolari) 的大作中提到: 】
: 你说不难,如果没有图纸哪个做下来不要好几年

k
kuku

俄罗斯提供RD-180火箭发动机全套图纸授权给美帝生产
美帝愣是造不出来,怎么说

【 在 pty5(pty5) 的大作中提到: 】

: 有了图纸也不行,哪有那么容易的

: 比如苏联60年代无偿提供涡喷全套图纸全套工艺装备,到90年代都没搞明白

p
pty5

就是,哪有那么容易的
只有真正从事过工业设计生产全过程的人,才会明白,图纸有个屁用
一堆电影还特务掏出微型相机拍图纸,太搞笑了

【 在 kuku (小黄猫) 的大作中提到: 】
: 俄罗斯提供RD-180火箭发动机全套图纸授权给美帝生产
: 美帝愣是造不出来,怎么说
:
: 有了图纸也不行,哪有那么容易的
:
: 比如苏联60年代无偿提供涡喷全套图纸全套工艺装备,到90年代都没搞明白
:

Q
Qiguoji

我共爱找名人 大牛,普遍动手能力比较差

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: EUV光刻机看起来啥都难,光源, STEPPER/Projector, 照明系统, stages,
FRAMEs
: 都不容易。。 因为需要精确, 功率大, 重, 温差, 污染, 等等。。
:
: 但是做起来不难。 比如温度吧, 就是控制, 加上材料,污染吧, 就是如何减小,
: 只要有一台慢慢摸索都不难。。 难就难在光源和projector系统。
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: projector, 现在是0.33, 很大很重。 将来的0.5更大更重, 所以简单点摸索阶段做
: 0.2的就可以了, 熟悉的都知道是NA, 小一下啥都容易了. 应该四个mirro设计就可以
: 了。
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: 光源其实国内挖回去人不少, 不难。 只要不是找骗子就行了, 就是laser
produced
: plasma, 需要的是控制, 功率。。 当然还有很多可以优化的地方。。
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: 做光刻机需要很多很多人。 目前不是要追上外国。 而是把台子搭起来, 弄几个桶都
: 行, 大家摆弄一下, 管道, 真空, 想一想。。 真心不难, 需要的是情怀, 想把
: 它做好就行了。 国内所谓的挖人不行, 得靠人多, 给人家前途, 才会有希望。 挖
: 几个大牛顶屁用。。 得要敢动手的。
:
: 至于精确控制方面找日本比较合适,欧洲人都不会帮中国人的。 一衣带水。。
G
G99991

自从华为经理捣坏你老婆逼里藏的光刻机资料,光刻机就失传了。
f
fangtuo2

耗子老师这个思路确实是正确的思路,关键是要把架子搭起来。

现在再落后,难道还比两弹一星的时候落后?

【 在 wadaxiwa(囼巴canhelp!) 的大作中提到: 】

: 厉害!

: 国士无双

: 请五毛立刻把这个帖子上报中央

T
TheMatrix

嗯。

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: EUV光刻机看起来啥都难,光源, STEPPER/Projector, 照明系统, stages,
FRAMEs
: 都不容易。。 因为需要精确, 功率大, 重, 温差, 污染, 等等。。
: 但是做起来不难。 比如温度吧, 就是控制, 加上材料,污染吧, 就是如何减小,
: 只要有一台慢慢摸索都不难。。 难就难在光源和projector系统。
: projector, 现在是0.33, 很大很重。 将来的0.5更大更重, 所以简单点摸索阶段做
: 0.2的就可以了, 熟悉的都知道是NA, 小一下啥都容易了. 应该四个mirro设计就可以
: 了。
: 光源其实国内挖回去人不少, 不难。 只要不是找骗子就行了, 就是laser
produced
: plasma, 需要的是控制, 功率。。 当然还有很多可以优化的地方。。
: 做光刻机需要很多很多人。 目前不是要追上外国。 而是把台子搭起来, 弄几个桶都
: ...................

T
TheMatrix

估计国内至少有好几个小分队已经开始这么干了。

【 在 fangtuo2 (方鸵) 的大作中提到: 】
: 耗子老师这个思路确实是正确的思路,关键是要把架子搭起来。
: 现在再落后,难道还比两弹一星的时候落后?
: : 厉害!
: : 国士无双
: : 请五毛立刻把这个帖子上报中央
:

n
newmj

前几年武汉不是买了一台EUV嘛,还抵押贷款了,现在在谁手里?
B
BigKings

人家根本不需要你这样的指导,就好比登喜马拉雅山一样,你告诉人要带什么衣服什么吃的谁稀罕啊?懂这个的人多如牛毛,人需要的是detail,比如光源,锡的温度要如果
维持,密度要多少,你说的出来么?

你自己也没见过什么7nm,你们美国也没有7nm,我看你还是别jjww了。

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: EUV光刻机看起来啥都难,光源, STEPPER/Projector, 照明系统, stages,
FRAMEs
: 都不容易。。 因为需要精确, 功率大, 重, 温差, 污染, 等等。。
: 但是做起来不难。 比如温度吧, 就是控制, 加上材料,污染吧, 就是如何减小,
: 只要有一台慢慢摸索都不难。。 难就难在光源和projector系统。
: projector, 现在是0.33, 很大很重。 将来的0.5更大更重, 所以简单点摸索阶段做
: 0.2的就可以了, 熟悉的都知道是NA, 小一下啥都容易了. 应该四个mirro设计就可以
: 了。
: 光源其实国内挖回去人不少, 不难。 只要不是找骗子就行了, 就是laser
produced
: plasma, 需要的是控制, 功率。。 当然还有很多可以优化的地方。。
: 做光刻机需要很多很多人。 目前不是要追上外国。 而是把台子搭起来, 弄几个桶都
: ...................

w
wadaxiwa

你看铲党过去做事的规律

都是厚积薄发,闷声干。
等到有眉目的时候,事情已经成了

【 在 fangtuo2 (方鸵) 的大作中提到: 】
: 耗子老师这个思路确实是正确的思路,关键是要把架子搭起来。
: 现在再落后,难道还比两弹一星的时候落后?
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: 厉害!
:
: 国士无双
:
: 请五毛立刻把这个帖子上报中央
:

o
octane

过节想想到哪儿玩是正经。

照耗子所说,之前土工招的那么多人才,论文专利一大堆,看着都很腻害的样子,难道都是动手能力不强?肯定是哪儿出了问题没注意
h
hhcare

细节根本不是个事情。

有了平台自己试试就行了
没有平台,弄几个大牛屁用没有,天天抱怨你达不到他的条件,其实他可能就是骗子。

比如euv,你发光了,到底是不是那个波段的,到底是多少?
需要很多检测

你雇大牛没有用,得慢慢自己摸索。。

需要的条件参数其实很多都公布了
,差的是平台
而不是没有参数

【 在 BigKings(大爷他爹) 的大作中提到: 】

: 人家根本不需要你这样的指导,就好比登喜马拉雅山一样,你告诉人要带什么衣服什么

: 吃的谁稀罕啊?懂这个的人多如牛毛,人需要的是detail,比如光源,锡的温度
要如果

: 维持,密度要多少,你说的出来么?

: 你自己也没见过什么7nm,你们美国也没有7nm,我看你还是别jjww了。

: FRAMEs

: produced

h
hhcare

不是动手能力不强
而是没有钱,缺信心。
估计很多的确是互相骗。。

【 在 octane(octane) 的大作中提到: 】

: 过节想想到哪儿玩是正经。

: 照耗子所说,之前土工招的那么多人才,论文专利一大堆,看着都很腻害的样子,难道

: 都是动手能力不强?肯定是哪儿出了问题没注意

b
bud

欧美企业所谓的大牛,其实都是搞管理的。所谓技术管理。根本不知道什么技术细节。

【 在 Qiguoji (我是个清纯的猥琐男) 的大作中提到: 】
: 我共爱找名人 大牛,普遍动手能力比较差
: FRAMEs
: produced

o
octane

开替、哎买特、阿斯美尔里头搞管理的还是知道技术whole picture的。但是架不住各
族索南把技术搞得巨复杂,文档里根本不写,走一个有经验的就损失很大,所以裁员先裁管理

【 在 bud (BUD) 的大作中提到: 】
: 欧美企业所谓的大牛,其实都是搞管理的。所谓技术管理。根本不知道什么技术细节。

l
lsheng

这是常事。特别现代产品,把IC的版图给你,你生产出来也是枉然。
那个后面配套的软件,需要天天的维护,经常的除虫,升级等等。我们自己做都搞得焦头烂额,新手来了培训好久才能上道。你偷去的,就是白费工夫。

【 在 kuku (小黄猫) 的大作中提到: 】
: 俄罗斯提供RD-180火箭发动机全套图纸授权给美帝生产
: 美帝愣是造不出来,怎么说
:
: 有了图纸也不行,哪有那么容易的
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: 比如苏联60年代无偿提供涡喷全套图纸全套工艺装备,到90年代都没搞明白
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V
VladPutin

土鳖搞大型工程的能力世界没有第二,你说的这些都会解决,而且不会慢。
h
hhcare

你太乐观了,

得有很多国家给免费做裤衩, 袜子, 卫生巾
才能支撑得起这个产业。

【 在 VladPutin (Trump's  Master) 的大作中提到: 】
: 土鳖搞大型工程的能力世界没有第二,你说的这些都会解决,而且不会慢。

H
HenryMITBBS

耗子别扯淡了
看来华为不给你offer是对的

h
hhcare

你估计是清华毕业的,
被洋人唬死了。。
数理学得一知半解都这样。

简单搭几个台子, 大家都知道个概念, 年轻人见识少, 很有必要, 然后拆分各个部分, 每一个部分单独深入研究, 互相交流协商接口参数

真需要好几个台子, 侧重不同点做,, 大家互相合作,, 也不需要超净室,,,等
差不多再上。。

让我做, 张家口找个窝棚都可以开始。。。 让专家估计它妈的几十亿屁都没有, 我
就算做不出来, 一大批人才给你培养出来了。

【 在 HenryMITBBS (HenryMITBBS) 的大作中提到: 】
: 耗子别扯淡了
: 看来华为不给你offer是对的

o
octane

国内这方面做不出来的原因何止在于技术,一腔热血只能碰个头破血流

c
cellcycle

你这不行,听着像现做 高纳米的,比如大家都 10纳米,你还在高20十几,为了搭台子吗,虽然产品能用一些,但国内你要补吹出 高端,超国际的,你就没戏,没人投资,
国家也不!

没有情怀,只有 面子和利益!

【 在 hhcare (龙龙) 的大作中提到: 】
: EUV光刻机看起来啥都难,光源, STEPPER/Projector, 照明系统, stages,
FRAMEs
: 都不容易。。 因为需要精确, 功率大, 重, 温差, 污染, 等等。。
: 但是做起来不难。 比如温度吧, 就是控制, 加上材料,污染吧, 就是如何减小,
: 只要有一台慢慢摸索都不难。。 难就难在光源和projector系统。
: projector, 现在是0.33, 很大很重。 将来的0.5更大更重, 所以简单点摸索阶段做
: 0.2的就可以了, 熟悉的都知道是NA, 小一下啥都容易了. 应该四个mirro设计就可以
: 了。
: 光源其实国内挖回去人不少, 不难。 只要不是找骗子就行了, 就是laser
produced
: plasma, 需要的是控制, 功率。。 当然还有很多可以优化的地方。。
: 做光刻机需要很多很多人。 目前不是要追上外国。 而是把台子搭起来, 弄几个桶都
: ...................

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wkht

更多的是毛轮胡伟长的芯片,牛先吹出去。世界领先,自研指令集,憋了半天是个肠道气体。哈哈哈,不过应该比打磨芯片的上交胡建人好点。哈哈哈

【 在 wadaxiwa (囼巴canhelp!) 的大作中提到: 】
: 你看铲党过去做事的规律
: 都是厚积薄发,闷声干。
: 等到有眉目的时候,事情已经成了

w
wkht

堆人的事很快,堆脑力的事,吹牛很快。哈哈哈

【 在 VladPutin (Trump's  Master) 的大作中提到: 】
: 土鳖搞大型工程的能力世界没有第二,你说的这些都会解决,而且不会慢。

o
octane

耗子你还处在摸索的初级阶段,应该多交朋友,面对面多谈话才行,网上什么人都有