EUV光源还是很难的

EUV光子的能量大致是100电子伏特

你们想想，氢原子外层电子能量才13.6电子伏特，

宇宙间的各种纯净物和化合物的外层电子大致都是10电子伏特左右或者以下

所以，你要产生100电子伏特的光子，要么用回旋电子加速器激发同步辐射，要么用其
他非常特殊的方式

羊大爷据说用激光激发锡蒸汽来产生100电子伏特的光子，我看还有一些核心机密没有
公布，不会很容易让你想明白

大师何不同那位生了四个儿子的光学专家一起海龟上海光机所，一居举突破一百电子能量极限?

同步辐射光源xray都有，国内光源已经两家还是三家了
肯定不是能量的关系
【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: EUV光子的能量大致是100电子伏特
: 你们想想，氢原子外层电子能量才13.6电子伏特，
: 宇宙间的各种纯净物和化合物的外层电子大致都是10电子伏特左右或者以下
: 所以，你要产生100电子伏特的光子，要么用回旋电子加速器激发同步辐射，要么用其
: 他非常特殊的方式
: 羊大爷据说用激光激发锡蒸汽来产生100电子伏特的光子，我看还有一些核心机密没有
: 公布，不会很容易让你想明白

肝爸爸搞经典光学的，回国只能帮人设计望远镜

【 在 wadaxiwa (另请高明) 的大作中提到: 】
: 大师何不同那位生了四个儿子的光学专家一起海龟上海光机所，一居举突破一百电子能
: 量极限?

都是等离子体吧
里面的原子已经失去了外层电子
都是激发内层电子

长春所也有，我就知道一个和自己女研究生结婚的53老头

盹々々

【 在 wadaxiwa(另请高明) 的大作中提到: 】

: 大师何不同那位生了四个儿子的光学专家一起海龟上海光机所，一居举突破一百电子能

: 量极限?

你回国能干啥？呵呵。

【 在 furoci (伊千枝) 的大作中提到: 】
: 肝爸爸搞经典光学的，回国只能帮人设计望远镜

【 在 F250 (帝城春欲暮，能饮一杯无) 的大作中提到: 】
: 长春所也有，我就知道一个和自己女研究生结婚的53老头
: 盹々々
:
: 大师何不同那位生了四个儿子的光学专家一起海龟上海光机所，一居举突破一百
: 电子能
:
: 量极限?
:

ASML的方法，目前已知的困难是，一需要很高功率的CO2光源，二是把液滴靶做稳定真
的非常困难！其他还有就是光学元件承受热效应的能力，2万瓦的CO2泵浦的剩余能量散热非常麻烦，以及真空腔内的污染问题。

大部分元素的内壳层跃迁都在紫外到X-ray，半导体能带在紫外的也常见，无非是电场
先把气体电离了或者把半导体直接泵到高能态去而已，有啥难的？